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1. (WO2018038495) APPAREIL DE PULVÉRISATION PERMETTANT DE FORMER UNE MEMBRANE À STRUCTURE NANOPOREUSE

Pub. No.:    WO/2018/038495    International Application No.:    PCT/KR2017/009120
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 23 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/34
C23C 14/56
Applicants: KWANG-LIM PRECISION CO.,LTD
(주)광림정공
YUN, Sung Ho
윤성호
Inventors: YUN, Sung Ho
윤성호
CHOI, Byung Woon
최병운
Title: APPAREIL DE PULVÉRISATION PERMETTANT DE FORMER UNE MEMBRANE À STRUCTURE NANOPOREUSE
Abstract:
La présente invention concerne un appareil de pulvérisation permettant de former une membrane à structure nanoporeuse, l'appareil étant apte à commander et à former une structure nanoporeuse possédant une taille souhaitée et une porosité souhaitée, et un appareil de pulvérisation permettant de former une structure nanoporeuse déposée sur un substrat, l'appareil comprenant : une chambre de traitement dans laquelle le substrat est disposé; une source d'agglomérats disposée dans la chambre de traitement; et une buse disposée entre la source d'agglomérats et la chambre de traitement, et possédant au moins une ouverture, la pression dans la chambre de traitement et la pression dans la source d'agglomérats étant différentes, et ainsi la taille et la densité de particules nanoporeuses peuvent être facilement régulées et les coûts peuvent être réduits pendant la configuration du système.