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1. (WO2018038334) SYSTÈME D'ÉTAGE D'INCLINAISON

Pub. No.:    WO/2018/038334    International Application No.:    PCT/KR2017/000891
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Jan 26 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/683
H01L 21/677
H01L 21/687
Applicants: HANWHA TECHWIN CO., LTD.
한화테크윈주식회사
Inventors: KIM, Sang Eun
김상은
Title: SYSTÈME D'ÉTAGE D'INCLINAISON
Abstract:
L'invention concerne un système d'étage d'inclinaison. La présente invention comprend : une première unité de support; une seconde unité de support qui est agencée pour être espacée de la première unité de support; une unité de déplacement qui est agencée entre la première unité de support et la seconde unité de support de manière à être mobile; un étage de montage qui est agencé à l'intérieur de la seconde unité de support et qui est relié à l'unité de déplacement pour pouvoir tourner; une unité d'entraînement qui est reliée à l'unité de déplacement et déplace l'unité de déplacement dans une première direction; une première unité d’opération d'inclinaison qui est installée sur l'unité de déplacement et charge une première portion de l'étage de montage, qui est excentrique par rapport au centre de l'étage de montage, dans la première direction; et une seconde unité d'opération d'inclinaison qui est installée sur l'unité mobile de manière à former un angle prédéterminé par rapport à la première unité d'opération d'inclinaison et charge une seconde portion de l'étage de montage, qui est excentrique par rapport au centre de l'étage de montage, dans la première direction.