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1. (WO2018038113) PROCÉDÉ DE LIAISON DE FIL ET DISPOSITIF DE LIAISON DE FIL

Pub. No.:    WO/2018/038113    International Application No.:    PCT/JP2017/029976
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 23 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/60
Applicants: SHINKAWA LTD.
株式会社新川
Inventors: MARUYA, Yusuke
丸矢 裕介
SEKINE, Yuki
関根 悠超
Title: PROCÉDÉ DE LIAISON DE FIL ET DISPOSITIF DE LIAISON DE FIL
Abstract:
L'invention concerne un procédé de liaison de fil comprenant : une étape de préparation d'un dispositif de liaison de fil (1) ; une étape de formation de bille consistant à former une bille à l'air libre (43) ; une première étape de mesure de hauteur consistant à mesurer la hauteur d'une première électrode en détectant si la bille à l'air libre (43) est mise à la masse sur la première électrode ; une seconde étape de mesure de hauteur consistant à mesurer la hauteur d'une seconde électrode en détectant si la bille à l'air libre (43) est mise à la masse sur la seconde électrode ; une première étape de liaison consistant à commander la hauteur d'un outil de liaison (40) sur la base du résultat de la mesure dans la première étape de mesure de hauteur et liaison de la bille à l'air libre (43) à la première électrode ; et une seconde étape de liaison consistant à commander la hauteur de l'outil de liaison (40) sur la base du résultat de la mesure dans la seconde étape de mesure de hauteur et liaison d'un fil (42) à la seconde électrode afin de connecter la première électrode à la seconde électrode. De cette manière, plusieurs électrodes peuvent être liées de manière précise.