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1. (WO2018038044) BASE DE MONTAGE DE TRANCHE

Pub. No.:    WO/2018/038044    International Application No.:    PCT/JP2017/029754
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Aug 22 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/683
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: AKATSUKA, Yuji
赤塚 祐司
Title: BASE DE MONTAGE DE TRANCHE
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de chauffage de mandrin électrostatique 20 qui comprend un mandrin électrostatique 22 et une plaque de refroidissement 40 mutuellement intégrés. Le mandrin électrostatique 22 comporte une surface de montage de tranche 22a et une surface opposée pourvue d’une partie évidée 28. Une borne à filetage femelle 30 d’un métal à coefficient de dilatation thermique faible est insérée dans la partie évidée 28 et liée à la partie évidée 28 au moyen d’une couche de liaison 34 comprenant des particules fines de céramique et d’un matériau de brasage dur. Une vis mâle 44 est insérée dans un trou traversant 42 pénétrant à travers la plaque de refroidissement 40, et est en prise par filetage avec la borne à filetage femelle 30. Lorsque la borne à filetage femelle 30 et la vis mâle 44 sont mises en prise par filetage l’une avec l’autre, un jeu p est disposé dans une direction dans laquelle la plaque de refroidissement 40 est déplacée par rapport au mandrin électrostatique 22 en raison d’une différence de dilatation thermique.