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1. (WO2018036792) SOURCE LASER PULSÉE ULTRAVIOLETTE MODULAIRE

Pub. No.:    WO/2018/036792    International Application No.:    PCT/EP2017/069855
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Aug 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: G02F 1/35
Applicants: COHERENT KAISERSLAUTERN GMBH
Inventors: KNAPPE, Ralf
Title: SOURCE LASER PULSÉE ULTRAVIOLETTE MODULAIRE
Abstract:
La présente invention concerne un appareil (10) pour générer un rayonnement laser pulsé (UV) ultraviolet pour un traitement de matériau qui comprend une source laser (20) fournissant un rayonnement laser pulsé infrarouge (IR) et un module de conversion de fréquence (28). Un cristal (72) de tétraborate de lithium (Li2B4O7) situé dans le module de conversion de fréquence (28) convertit le rayonnement laser pulsé IR en rayonnement laser pulsé UV par génération d’harmonique non linéaire. Le module de conversion de fréquence (28) est une enceinte étanche à l’air qui peut être évacuée ou contenir un gaz sec. Un ensemble de fibre optique flexible (24) transporte le rayonnement laser pulsé IR de la source laser au module de conversion de fréquence.