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1. (WO2018036715) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE DE SURFACE À L'AIDE D'UN CAPTEUR CONFOCAL CHROMATIQUE
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N° de publication :    WO/2018/036715    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/067565
Date de publication : 01.03.2018 Date de dépôt international : 12.07.2017
CIB :
G01B 11/02 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01)
Déposants : NANOFOCUS AG [DE/DE]; Max-Planck-Ring 48 46049 Oberhausen (DE)
Inventeurs : FRANK, Johannes; (DE)
Mandataire : SCHNEIDERS & BEHRENDT; Huestr. 23 44787 Bochum (DE).
ISFORT, Olaf; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2016 115 827.5 25.08.2016 DE
Titre (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN OBERFLÄCHENMESSUNG MIT HILFE EINES CHROMATISCH KONFOKALEN SENSORS
(EN) METHOD AND DEVICE FOR OPTICAL SURFACE MEASUREMENT BY MEANS OF A CHROMATICALLY CONFOCAL SENSOR
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE DE SURFACE À L'AIDE D'UN CAPTEUR CONFOCAL CHROMATIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Vermessung von technischen Oberflächen mit Hilfe eines chromatisch konfokalen Sensors, wobei Licht einer Lichtquelle (2) über ein optisches System (4, 14) mit definierter chromatischer Aberration auf die zu vermessende Oberfläche (5) einer Probe gerichtet wird. Erfindungsgemäß ist die Lichtquelle (2) bezüglich der auszusendenden Wellenlänge durchstimmbar. Das von der Probenoberfläche (5) zurückreflektierte Licht wird auf mindestens einen Fotosensor (7) gelenkt, wobei das Sensorsignal mittels eines Detektionssystems (8) über die Zeit gemessen und der Zeitpunkt eines Signalmaximums bestimmt wird. Das Detektionssystem (8) leitet aus der Wellenlänge der Lichtquelle (2) zum Zeitpunkt des Signalmaximums die Höhe Z der Oberfläche (5) ab.
(EN)The invention relates to a method and a device for the optical measurement of technical surfaces by means of a chromatically confocal sensor, where light from a light source (2) is directed towards the surface (5) of a sample to be measured by means of an optical system (4, 14) with defined chromatic aberration. According to the invention, the light source (2) can be tuned in relation to the wavelength to be emitted. The light reflected back from the sample surface (5) is directed to at least one photosensor (7), where the sensor signal is measured over time by means of a detection system (8) and the time of a signal maximum is determined. The detection system (8) derives the height Z of the surface (5) from the wavelength of the light source (2) at the time of the signal maximum.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif de mesure optique de surfaces techniques à l'aide d'un capteur confocal chromatique, de la lumière d'une source de lumière (2) étant dirigée vers la surface (5) à mesurer d'un échantillon par le biais d'un système optique (4, 14) présentant une aberration chromatique définie. Selon l'invention, la source de lumière (2) peut être réglée en ce qui concerne la longueur d'onde à émettre. La lumière réfléchie par la surface d'échantillon (5) est déviée vers au moins un photocapteur (7), le signal de capteur étant mesuré au cours du temps au moyen d'un système de détection (8) et l'instant d'un maximum du signal étant déterminé. Le système de détection (8) déduit de la longueur d'onde de la source de lumière (2) à l'instant du maximum de signal la hauteur Z de la surface (5).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)