Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018036200) STRUCTURE D'ESSAI DE PELLICULE ET SUBSTRAT DE MATRICE

Pub. No.:    WO/2018/036200    International Application No.:    PCT/CN2017/083195
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat May 06 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 23/544
H01L 27/12
Applicants: BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD.
京东方科技集团股份有限公司
HEFEI XINSHENG OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.
合肥鑫晟光电科技有限公司
Inventors: ZHANG, Miao
张淼
SUN, Jing
孙静
FU, Wuxia
傅武霞
Title: STRUCTURE D'ESSAI DE PELLICULE ET SUBSTRAT DE MATRICE
Abstract:
L'invention concerne une structure d'essai de pellicule et un substrat de matrice. La structure (100) d'essai de pellicule comprend une pellicule conductrice (101) à tester, une pluralité de fils conducteurs de sortie (102) d'essai situés au niveau d'une couche différente de la pellicule conductrice (101) à tester et connectés électriquement à la pellicule conductrice (101) à tester respectivement, et une pluralité de bornes (103) d'essai connectées électriquement à la pluralité de fils conducteurs de sortie (102) d'essai respectivement. En appliquant la structure d'essai de pellicule à un substrat de matrice, une résistance carrée peut être testée de manière pratique, et la précision d'essai peut être assurée. De plus, des sondes d'essai n'ont pas besoin d'être remplacées fréquemment, réduisant la consommation de sondes d'essai, réduisant ainsi les coûts de production.