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1. (WO2018035993) SUBSTRAT DE MATRICE ET PANNEAU D’AFFICHAGE À CRISTAUX LIQUIDES

Pub. No.:    WO/2018/035993    International Application No.:    PCT/CN2016/106033
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Nov 17 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 27/12
H01L 29/786
H01L 21/324
Applicants: WUHAN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD
武汉华星光电技术有限公司
Inventors: XIE, Yingtao
谢应涛
Title: SUBSTRAT DE MATRICE ET PANNEAU D’AFFICHAGE À CRISTAUX LIQUIDES
Abstract:
L’invention concerne un substrat de matrice et un panneau d’affichage à cristaux liquides, le substrat de matrice comprenant : après la formation d’une couche de matériau semi-conducteur d’oxyde (14, 23, 24, 25), la formation d’une couche de passivation (17) ou d’une couche isolante de grille (13, 26) par recuit dans l’air comprimé avec une irradiation à radiofréquence. Au moyen de la technique susmentionnée, la différence entre les tensions de seuil d’une pluralité de transistors à film mince d’oxyde peut être ajustée, et une base technique est en outre assurée pour la réduction de la dérive dans les tensions de seuil de TFT à semi-conducteurs d’oxyde, réalisant ainsi une performance d’affichage uniforme.