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1. (WO2018035964) PROCÉDÉ DE MESURE EN LIGNE ET APPAREIL DE MESURE EN LIGNE POUR CONTRAINTE RÉSIDUELLE DE MATÉRIAU À FILM MINCE CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/035964    N° de la demande internationale :    PCT/CN2016/104186
Date de publication : 01.03.2018 Date de dépôt international : 01.11.2016
CIB :
G01L 5/00 (2006.01), G01N 3/08 (2006.01)
Déposants : SOUTHEAST UNIVERSITY [CN/CN]; No.2 Sipailou, Xuanwu Nanjing, Jiangsu 210096 (CN)
Inventeurs : GU, Yifan; (CN).
ZHOU, Zaifa; (CN).
HUANG, Qingan; (CN).
LI, Weihua; (CN)
Mandataire : NANJING JINGWEI PATENT & TRADEMARK AGENCY CO., LTD; 12th FL.-B No. 179 Zhongshan Road, Gulou Nanjing, Jiangsu 210005 (CN)
Données relatives à la priorité :
201610704449.5 22.08.2016 CN
Titre (EN) ONLINE MEASUREMENT METHOD AND MEASUREMENT APPARATUS FOR RESIDUAL STRESS OF CONDUCTIVE THIN-FILM MATERIAL
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE EN LIGNE ET APPAREIL DE MESURE EN LIGNE POUR CONTRAINTE RÉSIDUELLE DE MATÉRIAU À FILM MINCE CONDUCTEUR
(ZH) 一种导电薄膜材料残余应力的在线测量方法及测量装置
Abrégé : front page image
(EN)An online measurement method and measurement apparatus for a residual stress of a conductive thin-film material (1). The method comprises: using an electrostatic driving pull-in principle to design a measurement structure; using synchronous processing to control relevance between parameters of two measurement members (104-1, 104-2); by means of limiting relevant parameters of total strain energy of the two measurement members (104-1, 104-2), constraining a partial differential equation set of the total strain energy thereof; and by means of solving the partial differential equation set, obtaining unknown numerical values of residual stress σ0 and Young's modulus E of the two measurement members (104-1, 104-2).
(FR)L'invention concerne un procédé de mesure en ligne et un appareil de mesure en ligne pour une contrainte résiduelle d'un matériau à film mince conducteur (1). Le procédé comprend les étapes consistant à : utiliser un principe de traction électrostatique pour concevoir une structure de mesure ; utiliser un traitement synchrone pour contrôler la pertinence entre des paramètres de deux éléments de mesure (104-1, 104-2) ; au moyen de la limitation de paramètres pertinents de l'énergie de déformation totale des deux éléments de mesure (104-1, 104-2), soumettre un ensemble d'équations différentielles partielles de l'énergie de déformation totale de ces derniers ; et au moyen de la résolution de l'ensemble d'équations différentielles partielles, obtenir des valeurs numériques inconnues de contrainte résiduelle σ0 et du module de Young E des deux éléments de mesure (104-1, 104-2).
(ZH)一种导电薄膜材料(1)残余应力的在线测量方法及其对应的测量装置。利用静电驱动Pull-in(吸合)原理设计测量结构,并通过采用同步加工控制两个测量件(104-1、104-2)的参数的关联性,通过限制两个测量件(104-1、104-2)总应变能的相关参数,进而约束其总应变能的偏微分方程组,通过求解偏微分方程组的方式得到两测量件(104-1、104-2)未知的残余应力σ 0和杨氏模量E数值。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)