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1. (WO2018035878) PROCÉDÉ DE CLASSIFICATION DE DÉFAUTS ET SYSTÈME D'INSPECTION DE DÉFAUTS
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N° de publication :    WO/2018/035878    N° de la demande internationale :    PCT/CN2016/097171
Date de publication : 01.03.2018 Date de dépôt international : 29.08.2016
CIB :
G01N 21/88 (2006.01)
Déposants : DONGFANG JINGYUAN ELECTRON LIMITED [CN/CN]; Building 12, No.156, 4th Jinghai Road, Beijing Economic Development District Beijing 100176 (CN)
Inventeurs : MA, Weimin; (CN).
ZHANG, Jian; (US).
ZHANG, Zhaoli; (CN)
Mandataire : SCIHEAD IP LAW FIRM; Room 1508, Huihua Commercial & Trade Building No.80, XianLie Zhong Road, Yuexiu Guangzhou, Guangdong 510070 (CN)
Données relatives à la priorité :
201610707841.5 23.08.2016 CN
Titre (EN) DEFECT CLASSIFICATION METHOD AND DEFECT INSPECTION SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ DE CLASSIFICATION DE DÉFAUTS ET SYSTÈME D'INSPECTION DE DÉFAUTS
(ZH) 缺陷分类方法和缺陷检查系统
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed in the present invention are a defect classification method and a defect inspection system. The defect classification method comprises: based on an inspection of a target sample, receiving a first defect record, the first defect record comprising a first defect image associated with an unknown defect; in the first defect image, selecting first assemblies ranked according to importance, by using a first learning technology; and based on the first assemblies ranked according to importance, determining whether the first defect image is associated with a first known defect type by using a second learning technology.
(FR)La présente invention concerne un procédé de classification de défauts et un système d'inspection de défauts. Le procédé de classification de défauts comprend les étapes consistant à : en partant de l'inspection d'un échantillon cible, recevoir un premier enregistrement de défaut, le premier enregistrement de défaut comprenant une première image de défaut associée à un défaut inconnu ; dans la première image de défaut, sélectionner des premiers ensembles classés en rang d'importance, en utilisant une première technologie d'apprentissage ; et en fonction des premiers ensembles classés en rang d'importance, déterminer si la première image de défaut est associée à un premier type de défaut connu en utilisant une seconde technologie d'apprentissage.
(ZH)本发明公开了缺陷分类方法和缺陷检查系统。其中,缺陷分类方法方法包括:基于对一个目标试样的检查,接收一个第一缺陷记录,所述第一缺陷记录包括一个未知缺陷所关联的一个第一缺陷图像;从所述第一缺陷图像中,用第一学习技术选择按重要性排序的第一组件,基于按重要性排序的所述第一组件,用第二学习技术判断所述第一缺陷图像是否关联于一个第一已知缺陷类型。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)