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1. (WO2018035539) FABRICATION À ÉCHELLE MILLIMÉTRIQUE À VOLUME ÉLEVÉ

Pub. No.:    WO/2018/035539    International Application No.:    PCT/US2017/047869
Publication Date: Fri Feb 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Aug 22 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05K 3/46
H01L 21/02
H01L 21/48
H01L 41/09
H05K 3/00
H05K 3/10
Applicants: SREETHARAN, Pratheev S.
BAISCH, Andrew
VISCO, Alina
KARPELSON, Michael
Inventors: SREETHARAN, Pratheev S.
BAISCH, Andrew
VISCO, Alina
KARPELSON, Michael
Title: FABRICATION À ÉCHELLE MILLIMÉTRIQUE À VOLUME ÉLEVÉ
Abstract:
Selon la présente invention, un procédé de fabrication d'un dispositif électromécanique à échelle millimétrique consiste à accoupler une couche d'acier inoxydable à une couche de support polymère, à revêtir la couche d'acier inoxydable dans un matériau photorésistant, à masquer le matériau photorésistant, à exposer le matériau photorésistant de manière à faire durcir une partie du matériau photorésistant, à développer le matériau photorésistant de manière à retirer le matériau photorésistant non durci du pli d'acier inoxydable, à graver chimiquement la couche d'acier inoxydable de manière à retirer une partie à motifs de la couche d'acier inoxydable, à dissoudre la couche de support polymère de manière à libérer des copeaux indésirables de la couche d'acier inoxydable, et à faire adhérer la couche d'acier inoxydable à motifs à une couche de matériau souple de manière à former un sous-stratifié.