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1. (WO2018034934) CHAMBRE DE TRAITEMENT AYANT UNE POMME DE DOUCHE ACCORDABLE ET UN REVÊTEMENT ACCORDABLE
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N° de publication :    WO/2018/034934    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/046268
Date de publication : 22.02.2018 Date de dépôt international : 10.08.2017
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : NGUYEN, Andrew; (US).
CHANG, Xue Yang; (US).
WANG, Haitao; (US).
KO, Kei-Yu; (US).
SADJADI, Reza; (US)
Mandataire : BISHARA, Amir; (US).
TABOADA, Alan; (US).
MOSER, JR., Raymond R.; (US).
LINARDAKIS, Leonard P.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/374,837 13.08.2016 US
15/673,403 09.08.2017 US
Titre (EN) PROCESS CHAMBER HAVING TUNABLE SHOWERHEAD AND TUNABLE LINER
(FR) CHAMBRE DE TRAITEMENT AYANT UNE POMME DE DOUCHE ACCORDABLE ET UN REVÊTEMENT ACCORDABLE
Abrégé : front page image
(EN)Process chambers having a tunable showerhead and a tunable liner are disclosed herein. In some embodiments, a processing chamber includes a showerhead; a chamber liner; a first impedance circuit coupled to the showerhead to tune an impedance of the showerhead; a second impedance circuit coupled to the chamber liner to tune an impedance of the chamber liner; and a controller coupled to the first and second impedance circuits to control relative impedances of the showerhead and the chamber liner.
(FR)L'invention concerne des chambres de traitement ayant une pomme de douche accordable et un revêtement accordable. Dans certains modes de réalisation, une chambre de traitement comprend une pomme de douche; un revêtement de chambre; un premier circuit d'impédance couplé à la pomme de douche pour accorder une impédance de la pomme de douche; un second circuit d'impédance couplé au revêtement de chambre pour accorder une impédance du revêtement de chambre; et un dispositif de commande couplé aux premier et second circuits d'impédance pour commander les impédances relatives de la pomme de douche et du revêtement de chambre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)