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1. (WO2018034933) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE RÉGULATION DE L'ÉCOULEMENT DE GAZ VERS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT

Pub. No.:    WO/2018/034933    International Application No.:    PCT/US2017/046267
Publication Date: Fri Feb 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Aug 11 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 16/52
C23C 16/455
C23C 16/54
B01J 4/00
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: NGUYEN, Andrew
CHANG, Xue
Title: PROCÉDÉ ET APPAREIL DE RÉGULATION DE L'ÉCOULEMENT DE GAZ VERS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abstract:
Cette invention concerne des procédés et un appareil de régulation de l'écoulement de gaz vers une chambre de traitement. Selon certains modes de réalisation, un système de traitement comprend une première chambre de traitement ayant une première entrée de gaz; un premier dispositif de coupure de gaz disposé en amont de la première entrée de gaz; une première vanne réglable disposée en amont du premier dispositif de coupure de gaz; et une première vanne d'isolement disposée en amont de la première vanne réglable. Le système de traitement peut en outre comprendre une seconde chambre de traitement ayant une seconde entrée de gaz; un second dispositif de coupure de gaz disposé en amont de la seconde entrée de gaz; une seconde vanne réglable disposée en amont du second dispositif de coupure de gaz; et une seconde vanne d'isolement disposée en amont de la seconde vanne réglable. Une source de gaz partagée peut être disposée en amont de la première vanne d'isolement et de la seconde vanne d'isolement pour fournir un ou plusieurs gaz à la première chambre de traitement et à la seconde chambre de traitement.