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1. (WO2018034896) SUPPORT DE SUBSTRAT AVEC RÉSEAU D'ÉLÉMENTS CHAUFFANTS À COMMANDE INDÉPENDANTE
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N° de publication :    WO/2018/034896    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/045988
Date de publication : 22.02.2018 Date de dépôt international : 08.08.2017
CIB :
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/324 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : BABAYAN, Steven E.; (US).
CRIMINALE, Phillip; (US).
GUO, Zhiqiang; (US)
Mandataire : VINCENT, Lester J.; (US).
LINDEEN, Gordon R.; (US).
MALLIE, Michael J.; (US)
Données relatives à la priorité :
15/241,326 19.08.2016 US
Titre (EN) SUBSTRATE CARRIER WITH ARRAY OF INDEPENDENTLY CONTROLLABLE HEATER ELEMENTS
(FR) SUPPORT DE SUBSTRAT AVEC RÉSEAU D'ÉLÉMENTS CHAUFFANTS À COMMANDE INDÉPENDANTE
Abrégé : front page image
(EN)A substrate carrier is described with an array of independently controllable heater elements. In one example an apparatus includes a substrate carrier to carry a substrate for processing, a plurality of resistive heating elements in the carrier to heat the substrate by heating the carrier, a power supply to supply power to the heating elements, a power controller to provide a control signal, the control signal to control an amount of current applied to each of the heating elements, and a plurality of power interfaces in the carrier each coupled to a heating element to receive the power from the power supply and the control signal from the controller and to modulate the power applied to a respective coupled heating element in response to the control signal.
(FR)L'invention concerne un support de substrat avec un réseau d'éléments chauffants à commande indépendante. Dans un exemple, un appareil comprend un support de substrat destiné à porter un substrat à traiter, une pluralité d'éléments chauffants résistifs dans le support destinés à chauffer le substrat en chauffant le support, une alimentation électrique destinée à fournir de l'énergie aux éléments chauffants, un dispositif de commande de puissance destiné à fournir un signal de commande, le signal de commande étant destiné à commander une quantité de courant appliquée à chacun des éléments chauffants, et une pluralité d'interfaces de gestion de l'énergie dans le support, chacune étant couplée à un élément chauffant pour recevoir l'énergie provenant de l'alimentation électrique et le signal de commande provenant du dispositif de commande et pour moduler la puissance appliquée à un élément chauffant couplé respectif en réponse au signal de commande.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)