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1. (WO2018034101) RÉCIPIENT DE RÉCEPTION DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/034101    International Application No.:    PCT/JP2017/026201
Publication Date: Fri Feb 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jul 21 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/673
B65D 85/86
Applicants: SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD.
信越ポリマー株式会社
Inventors: MIMURA Hiroshi
三村 博
TODA Junya
戸田 順也
Title: RÉCIPIENT DE RÉCEPTION DE SUBSTRAT
Abstract:
La présente invention vise à fournir un récipient de réception de substrat dans lequel la force par laquelle un composant transporté est fixé est améliorée. La présente invention comprend : un corps de récipient (20) ayant une ouverture fermée par un corps de couvercle, le corps de récipient (20) permettant de recevoir une pluralité de substrats ; et un composant transporté (30) fixé amovible au corps de récipient (20). Un mécanisme de fixation (40) comprend une première partie de fixation (40A) sur le côté de l'ouverture du corps de récipient (20) et une seconde partie de fixation (40B) sur le côté opposé à l'ouverture. Le composant transporté (30) présente une partie en prise venant en prise avec le mécanisme de fixation (40). La partie en prise comprend une première partie en prise (36), qui vient en prise par le biais d'un déplacement dans une direction prescrite, et une seconde partie en prise (37), qui vient en prise par le biais d'un déplacement dans une direction différente de la direction prescrite.