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1. (WO2018031747) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR REVÊTIR DES SUBSTRATS EN VERRE UTILISANT UN MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE ET DES FORCES DE VAN DER WAALS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/031747 N° de la demande internationale : PCT/US2017/046254
Date de publication : 15.02.2018 Date de dépôt international : 10.08.2017
CIB :
C03C 17/00 (2006.01) ,C03C 23/00 (2006.01) ,C03C 27/06 (2006.01) ,C23C 14/50 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : CORNING INCORPORATED[US/US]; 1 Riverfront Plaza Corning, New York 14831, US
Inventeurs : BOUGHTON, Daniel Robert; US
FAGAN, James Gerard; US
FAGAN, Sumalee Likitvanichkul; US
Mandataire : SCHMIDT, Jeffrey A; US
Données relatives à la priorité :
62/373,03710.08.2016US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD TO COAT GLASS SUBSTRATES WITH ELECTROSTATIC CHUCK AND VAN DER WAALS FORCES
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR REVÊTIR DES SUBSTRATS EN VERRE UTILISANT UN MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE ET DES FORCES DE VAN DER WAALS
Abrégé : front page image
(EN) A chucking apparatus and methods for coating a glass substrate using a vacuum deposition process are disclosed. In one or more embodiments, the chucking apparatus includes an ESC (ESC), a carrier disposed on the ESC, wherein the carrier comprises a first surface adjacent to the ESC and an opposing second surface for forming a Van der Waals bond with a third surface of a glass substrate, without application of a mechanical force on a fourth surface of the glass substrate opposing the third surface. In one or more embodiments, the method includes disposing a carrier and a glass substrate on an ESC, such that the carrier is between the glass substrate and the ESC to form a chucking assembly, forming a Van der Waals bond between the carrier and the glass substrate, and vacuum depositing a coating on the glass substrate.
(FR) L'invention porte sur un appareil de serrage et sur des procédés pour revêtir un substrat en verre à l'aide d'un procédé de dépôt sous vide. Dans un ou plusieurs modes de réalisation, l'appareil de serrage comprend un mandrin électrostatique (MES), un support disposé sur le MES, le support comprenant une première surface adjacente au MES et une deuxième surface opposée pour former une liaison de Van der Waals avec une troisième surface d'un substrat en verre, sans application d'une force mécanique sur une quatrième surface du substrat en verre opposée à la troisième surface. Dans un ou plusieurs modes de réalisation, le procédé comprend la disposition d'un support et d'un substrat en verre sur un MES, de telle sorte que le support se trouve entre le substrat en verre et le MES afin de former un ensemble de serrage, former une liaison de Van der Waals entre le support et le substrat en verre, et déposer sous vide un revêtement sur le substrat en verre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)