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1. (WO2018031639) MESURE OPTIQUE DE DIMENSIONS D'OUVERTURE DANS UNE PLAQUETTE
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N° de publication : WO/2018/031639 N° de la demande internationale : PCT/US2017/046076
Date de publication : 15.02.2018 Date de dépôt international : 09.08.2017
CIB :
H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs : XU, James Jianguo; US
SOETARMAN, Ronny; US
LEE, Ken Kinsun; US
KATHURIA, Nitigya; US
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N; US
Données relatives à la priorité :
15/233,81210.08.2016US
15/338,83831.10.2016US
Titre (EN) OPTICAL MEASUREMENT OF OPENING DIMENSIONS IN A WAFER
(FR) MESURE OPTIQUE DE DIMENSIONS D'OUVERTURE DANS UNE PLAQUETTE
Abrégé :
(EN) A method of generating 3D information of a sample using an optical microscope includes: varying the distance between the sample and an objective lens of the optical microscope at pre-determined steps, capturing an image at each pre-determined step, determining a characteristic value of each pixel in each captured image, determining a first captured image that is focused on a first surface of the sample based on the characteristic value of each pixel in each captured image, and determining a measurement of an opening in the first surface of the sample based on the first captured image. The first surface of the sample and the second surface of the sample are within a field of view of each of the captured images. The first captured image includes a pattern overlay. In another example, the opening measurement is determined using a second captured image without a pattern overlay.
(FR) Un procédé de génération d'informations 3D d'un échantillon à l'aide d'un microscope optique consiste à : varier la distance entre l'échantillon et une lentille de focalisation du microscope optique à des étapes prédéterminées, capturer une image à chaque étape prédéterminée, déterminer une valeur caractéristique de chaque pixel dans chaque image capturée, déterminer une première image capturée qui est focalisée sur une première surface de l'échantillon sur la base de la valeur caractéristique de chaque pixel dans chaque image capturée, et déterminer une mesure d'une ouverture dans la première surface de l'échantillon sur la base de la première image capturée. La première surface de l'échantillon et la seconde surface de l'échantillon se situent dans un champ de vision de chacune des images capturées. La première image capturée comprend une superposition de motifs. Dans un autre exemple, la mesure d'ouverture est déterminée à l'aide d'une seconde image capturée sans superposition de motifs.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)