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1. (WO2018031602) SONDES DE MICROSCOPE EN CHAMP PROCHE ET DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE ET LEUR FABRICATION
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N° de publication : WO/2018/031602 N° de la demande internationale : PCT/US2017/046000
Date de publication : 15.02.2018 Date de dépôt international : 09.08.2017
CIB :
G01Q 70/16 (2010.01) ,G01Q 60/24 (2010.01) ,G01Q 60/38 (2010.01)
Déposants : TIPTEK, LLC[US/US]; 1122 Woodstock Lane West Chester, Pennsylvania 19382, US
Inventeurs : GIROLAMI, Gregory S.; US
LYDING, Joseph W.; US
LOCKLEDGE, Scott P.; US
LEE, Jinju; US
Mandataire : ROSENBERG, Frank; US
Données relatives à la priorité :
15/235,88912.08.2016US
Titre (EN) SCANNING PROBE AND ELECTRON MICROSCOPE PROBES AND THEIR MANUFACTURE
(FR) SONDES DE MICROSCOPE EN CHAMP PROCHE ET DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE ET LEUR FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN) Methods are described for the economical manufacture of Scanning Probe and Electron Microscope (SPEM) probe tips. In this method, multiple wires are mounted on a stage and ion milled simultaneously while the stage and mounted probes are tilted at a selected angle relative to the ion source and rotated. The resulting probes are also described. The method provides sets of highly uniform probe tips having controllable properties for stable and accurate scanning probe and electron microscope (EM) measurements.
(FR) Cette invention concerne des procédés de fabrication économique de pointes de sonde de microscopes en champ proche et électronique (SPEM). Dans ce procédé, de multiples fils sont montés sur un étage usinés par bombardement électronique tandis que l'étage et les sondes montées sont inclinés à un angle sélectionné par rapport à la source d'ions et entraînés en rotation. L'invention concerne en outre les sondes ainsi obtenues. Le procédé fournit des ensembles de pointes de sonde hautement uniformes ayant des propriétés contrôlables pour des mesures stables et précises de microscopes en champ proche et électroniques (EM).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)