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1. (WO2018031055) DISPOSITIF RÉSONATEUR ACOUSTIQUE À PLACEMENT COMMANDÉ DE MATÉRIAU DE FONCTIONNALISATION

Pub. No.:    WO/2018/031055    International Application No.:    PCT/US2016/058749
Publication Date: Fri Feb 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Oct 27 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01N 29/02
G01N 29/036
Applicants: QORVO US, INC.
Inventors: RYDER, Matthew
RIVAS, Rio
EDWARDS, Thayne
Title: DISPOSITIF RÉSONATEUR ACOUSTIQUE À PLACEMENT COMMANDÉ DE MATÉRIAU DE FONCTIONNALISATION
Abstract:
L’invention concerne un dispositif résonateur de microsystème électromécanique (MEMS) comprenant au moins un matériau de fonctionnalisation disposé sur au moins une partie centrale, mais représentant moins de la totalité, d'une électrode côté supérieur. Pour une région active présente une plus grande sensibilité au niveau d'un point central et une sensibilité réduite le long de sa périphérie, l'omission d'un matériau de fonctionnalisation sur au moins une partie périphérique d'une région active du résonateur empêche la liaison de l'analyte dans des régions de sensibilité inférieure. Ledit matériau de fonctionnalisation s'étend sur une longueur maximale dans une plage d'environ 20 % à environ 95 % d'une longueur de zone active et s'étend sur une largeur maximale dans une plage d'environ 50 % à 100 % d'une largeur de zone active. L'invention concerne en outre des procédés de fabrication de dispositifs résonateurs MEMS.