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1. (WO2018030438) ÉLÉMENT POUR DISPOSITIF D'INSPECTION DE CONDUCTION ET DISPOSITIF D'INSPECTION DE CONDUCTION

Pub. No.:    WO/2018/030438    International Application No.:    PCT/JP2017/028842
Publication Date: Fri Feb 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 09 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01R 1/06
G01R 1/073
G01R 31/02
G01R 31/26
G01R 31/28
H01L 21/66
Applicants: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.
積水化学工業株式会社
Inventors: SASADAIRA, Masao
笹平 昌男
WANG, Xiaoge
王 暁舸
Title: ÉLÉMENT POUR DISPOSITIF D'INSPECTION DE CONDUCTION ET DISPOSITIF D'INSPECTION DE CONDUCTION
Abstract:
L'invention porte sur un élément pour dispositif d'inspection de conduction : qui possède des parties conductrices qui ne se fissurent pas facilement ou ne développent pas facilement d'espaces vides ; qui ne subit pas facilement de dégradation des performances conductrices, même après des inspections de conduction répétées ; et qui ne garde pas facilement de marques de contact au niveau de sa partie entrant en contact avec les éléments inspectés. L'invention porte également sur un dispositif d'inspection de conduction qui comprend l'élément pour dispositif d'inspection de conduction. Un élément pour dispositif d'inspection de conduction comprend un substrat 13, des trous traversants 11 et des parties conductrices 12. Les trous traversants 11 sont disposés dans le substrat 13, et les parties conductrices 12 sont logées à l'intérieur des trous traversants 11. Les parties conductrices 12 comprennent des particules 2 conductrices. Les particules conductrices 2 comprennent une particule de substrat 21 et une couche conductrice 22 qui est disposée sur la surface de la particule de substrat 21. La couche conductrice 22 possède des saillies 23 sur sa surface extérieure.