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1. (WO2018030122) PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME

Pub. No.:    WO/2018/030122    International Application No.:    PCT/JP2017/026513
Publication Date: Fri Feb 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Jul 22 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05G 2/00
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: YANAGIDA, Tatsuya
柳田 達哉
Title: PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
Abstract:
Selon un aspect, la présente invention concerne un procédé de génération de lumière ultraviolette extrême, dans lequel une gouttelette est fournie vers une première région de rayonnement laser, qui est une région différente d'une région de génération de plasma, la gouttelette ayant atteint la première région de rayonnement laser fait l'objet d'un rayonnement au moyen d'un premier laser en vue de générer une cible de liquide de déformation, la cible de liquide de déformation ayant atteint une seconde région de rayonnement laser, qui est une région différente de la région de génération de plasma, fait l'objet d'un rayonnement au moyen d'un deuxième laser en vue de générer une cible de jet de fragment, et au moins une partie de la cible de jet de fragment ayant atteint la région de génération de plasma fait l'objet d'un rayonnement au moyen d'un troisième laser, qui se propage dans une direction croisant la direction de propagation du deuxième laser.