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1. (WO2018030009) STRUCTURE DE CANAL D'ÉCOULEMENT ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/030009    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/023441
Date de publication : 15.02.2018 Date de dépôt international : 26.06.2017
CIB :
H01L 21/31 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01)
Déposants : KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA [JP/JP]; 1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058001 (JP)
Inventeurs : HIGASHI, Shinya; (JP).
TERADA, Takahiro; (JP).
MATSUDA, Takuya; (JP).
KATO, Shiguma; (JP).
TANAKA, Masayuki; (JP)
Mandataire : SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-158166 10.08.2016 JP
Titre (EN) FLOW CHANNEL STRUCTURE AND PROCESSING DEVICE
(FR) STRUCTURE DE CANAL D'ÉCOULEMENT ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT
(JA) 流路構造及び処理装置
Abrégé : front page image
(EN)A flow channel structure according to one embodiment is provided with a housing and a plurality of first wall parts. The housing has an outer surface positioned at an end along a first direction. Two passages that are mutually independent are provided in the interior of the housing. The two passages each include at least one liquid chamber, a plurality of openings that open to the outer surface, and a plurality of branch paths connected to the liquid chamber. The liquid chambers of each of the two passages are disposed in alternating fashion in the first direction. The plurality of branch paths includes a plurality of branch paths connecting at least one of the plurality of openings and one of the liquid chambers, and/or a plurality of branch paths connecting one of the liquid chambers and the other liquid chamber. The plurality of first wall parts is provided in the housing, faces the liquid chambers, and is arranged in a row in the first direction with the liquid chambers interposed therebetween.
(FR)Une structure de canal d'écoulement selon un mode de réalisation est pourvue d'un boîtier et d'une pluralité de premières parties de paroi. Le boîtier a une surface externe positionnée à une extrémité le long d'une première direction. Deux passages qui sont mutuellement indépendants sont prévus à l'intérieur du boîtier. Les deux passages comprennent chacun au moins une chambre de liquide, une pluralité d'ouvertures qui s'ouvrent sur la surface externe, et une pluralité de chemins de ramification reliés à la chambre de liquide. Les chambres de liquide de chacun des deux passages sont disposées de manière alternée dans la première direction. La pluralité de chemins de ramification comprend une pluralité de chemins de ramification reliant au moins l'une de la pluralité d'ouvertures et l'une des chambres de liquide, et/ou une pluralité de chemins de ramification reliant l'une des chambres de liquide et l'autre chambre de liquide. La pluralité de premières parties de paroi est disposée dans le boîtier, fait face aux chambres de liquide, et est disposée dans une rangée dans la première direction, les chambres de liquide étant interposées entre celles-ci.
(JA)一つの実施形態に係る流路構造は、ハウジングと、複数の第1の壁部と、を備える。前記ハウジングは、第1の方向の端に位置する外面を有し、内部に互いに独立した二つの通路が設けられ、当該二つの通路がそれぞれ、少なくとも一つの流体室と、前記外面に開口する複数の開口と、前記流体室に接続された複数の分岐路と、を含み、前記二つの通路のそれぞれの前記流体室が前記第1の方向に交互に配置され、前記複数の分岐路が前記複数の開口のうち少なくとも一つと一つの前記流体室とを接続する前記複数の分岐路及び一つの前記流体室と他の前記流体室とを接続する前記複数の分岐路の少なくとも一方を含む。前記複数の第1の壁部は、前記ハウジングに設けられ、前記流体室に面するとともに前記第1の方向に前記流体室を介して並べられる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)