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1. (WO2018026856) ENCEINTE DE FOUR POUR COMPOSANTS OPTIQUES AVEC PRÉCHAUFFAGE INTÉGRÉ DU GAZ DE PURGE
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N° de publication : WO/2018/026856 N° de la demande internationale : PCT/US2017/044968
Date de publication : 08.02.2018 Date de dépôt international : 01.08.2017
CIB :
H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
WOLL, Dirk; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N,; US
Données relatives à la priorité :
15/358,50722.11.2016US
62/371,04604.08.2016US
Titre (EN) OVEN ENCLOSURE FOR OPTICAL COMPONENTS WITH INTEGRATED PURGE GAS PRE-HEATER
(FR) ENCEINTE DE FOUR POUR COMPOSANTS OPTIQUES AVEC PRÉCHAUFFAGE INTÉGRÉ DU GAZ DE PURGE
Abrégé :
(EN) A cartridge in an oven enclosure includes a pre-heating feature for an incoming purge gas before the purge gas enters the space around an optical component, such as a nonlinear optical crystal, in an oven cell. The incoming purge gas can be pre-heated as it travels along a gas pathway around a cartridge. The cartridge can include a heater. The oven enclosure can have two windows positioned such that a laser beam can enter through one of the windows, pass through the optical component, and exit through another of the windows. A second harmonic beam can be generated with the optical component.
(FR) L'invention concerne une cartouche dans une enceinte de four qui comprend une caractéristique de préchauffage pour un gaz de purge entrant avant que le gaz de purge ne pénètre dans l'espace autour d'un composant optique, tel qu'un cristal optique non linéaire, dans une cellule de four. Le gaz de purge entrant peut être préchauffé au fur et à mesure qu'il se déplace le long d'un trajet de gaz autour d'une cartouche. La cartouche peut comprendre un dispositif de chauffage. L'enceinte du four peut avoir deux fenêtres positionnées de telle sorte qu'un faisceau laser peut pénétrer à travers l'une des fenêtres, traverser le composant optique et sortir par une autre des fenêtres. Un second faisceau harmonique peut être généré avec le composant optique.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)