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1. (WO2018025855) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UN ÉLÉMENT À TRAITER

Pub. No.:    WO/2018/025855    International Application No.:    PCT/JP2017/027888
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 02 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/3065
H01L 21/3213
H01L 21/768
H05H 1/46
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: OGAWA Shuhei
小川 秀平
TOYODA Keigo
豊田 啓吾
KIHARA Yoshihide
木原 嘉英
Title: PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UN ÉLÉMENT À TRAITER
Abstract:
Selon un mode de réalisation de la présente invention, un procédé comprend : (a) une première étape de gravure, à l'aide de plasma généré dans un contenant de traitement, d'un élément à traiter, dans un état dans lequel des première et seconde directions sont maintenues afin de former un premier angle, ledit élément étant porté par une structure de support ; (b) une seconde étape de gravure, à l'aide du plasma généré dans le contenant de traitement, de l'élément porté par la structure de support, ladite seconde étape étant exécutée après l'exécution de la première étape, et dans un état dans lequel les première et seconde directions sont maintenues afin de former un second angle.