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1. (WO2018025849) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE

Pub. No.:    WO/2018/025849    International Application No.:    PCT/JP2017/027864
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 02 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/04
H01J 37/141
H01J 37/18
H01J 37/20
H01J 37/28
Applicants: MATSUSADA PRECISION, INC.
松定プレシジョン株式会社
Inventors: KUMAMOTO, Kazuya
熊本 和哉
MATSUDA, Sadayoshi
松田 定好
Title: DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
Abstract:
Ce dispositif à faisceau de particules chargées comprend une source d'électrons (11) émettant un faisceau d'électrons primaire (12), une lentille de focalisation supérieure (18) et une lentille de focalisation inférieure (26) focalisant le faisceau d'électrons primaire (12) émis par la source d'électrons (11) sur un échantillon, un étage d'échantillon (24) sur lequel est placé l'échantillon (23), et une électrode de blindage (51) ainsi qu'une plaque de potentiel électrique (22) permettant au faisceau d'électrons primaire (12) de passer à travers celles-ci. L'électrode de blindage (51) et la plaque de potentiel électrique (22) sont disposées dans cet ordre du côté de l'étage d'échantillon. Une différence de potentiel électrique est appliquée entre l'étage d'échantillon (24) et la plaque de potentiel électrique (22). Un potentiel électrique est appliqué à l'électrode de blindage (51) afin d'atténuer le champ électrique apparaissant dans l'échantillon (23) en raison de la différence de potentiel électrique.