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1. (WO2018025756) DISPOSITIF D'IMPRESSION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ARTICLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/025756    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/027354
Date de publication : 08.02.2018 Date de dépôt international : 28.07.2017
CIB :
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01)
Déposants : CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Inventeurs : YAMAMOTO Kiyohito; (JP)
Mandataire : ABE Takuma; (JP).
KUROIWA Sogo; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-154020 04.08.2016 JP
Titre (EN) IMPRINT DEVICE AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'IMPRESSION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ARTICLE
(JA) インプリント装置、及び物品製造方法
Abrégé : front page image
(EN)This imprint device has: a processing part that forms an imprint material pattern on a substrate by using a mold; a chamber that houses the processing part and that has a first gate to which a first storage part that stores a substrate yet to be processed by the processing part is connected and a second gate to which a second storage part that stores the substrate processed by the processing part is connected; and a control part that prohibits the first gate from being opened until a prescribed time elapses after the substrate, on which the pattern has been formed by the processing part, has been stored in the second storage part and the second gate has been closed.
(FR)Ce dispositif d'impression comporte : une partie de traitement qui forme un motif de matériau d'impression sur un substrat à l'aide d'un moule; une chambre qui contient la partie de traitement et qui a une première grille sur laquelle une première partie de stockage qui stocke un substrat devant être traité par la partie de traitement est connectée et une seconde grille à laquelle une seconde partie de stockage qui stocke le substrat traité par la partie de traitement est connectée; et une partie de commande qui empêche l'ouverture de la première grille jusqu'à ce qu'un temps prescrit s'écoule après le substrat, sur lequel le motif a été formé par la partie de traitement, a été stockée dans la seconde partie de stockage et la seconde grille a été fermée.
(JA)インプリント装置は、型を用いて、基板上にインプリント材のパターンを形成する処理部と、この処理部を収容し、処理部にて処理される前の基板を格納する第1格納部が接続される第1ゲートと、処理部にて処理済みの基板を格納する第2格納部が接続される第2ゲートとを有するチャンバと、第2格納部に処理部によりパターンが形成された基板が格納され、第2ゲートが閉鎖されてから所定時間が経過するまで第1ゲートの開放を禁止する制御部とを有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)