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1. (WO2018025683) CARTE SONDE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
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N° de publication :    WO/2018/025683    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/026606
Date de publication : 08.02.2018 Date de dépôt international : 24.07.2017
CIB :
G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/26 (2014.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS [JP/JP]; 6-8, Kichijojihon-cho 2-chome, Musashino-shi, Tokyo 1808508 (JP)
Inventeurs : KIKUTA Makoto; (JP).
ANDO Hidenori; (JP)
Mandataire : IEIRI Takeshi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-151786 02.08.2016 JP
Titre (EN) PROBE CARD AND INSPECTION METHOD
(FR) CARTE SONDE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) プローブカード、及び検査方法
Abrégé : front page image
(EN)A probe card (100) according to the present invention inspects a work (50) that has a plurality of pads (51). The probe card (100) is provided with: a planar secondary battery (10) that comprises a planar electrode (22) and is arranged such that the planar electrode (22) faces the work (50); and an electrical connector (30) that is arranged between the work (50) and the secondary battery (10). The secondary battery (10) has a structure wherein a wiring line is able to be led out from the planar electrode (22) at an arbitrary position. The electrical connector (30) has a plurality of contacts (31) which protrude toward the facing pads (51); and the plurality of pads (51) and the planar electrode (22) are electrically connected to each other via the plurality of contacts (31).
(FR)La présente invention concerne une carte sonde (100), laquelle inspecte un travail (50) présentant une pluralité de pastilles (51). La carte sonde (100) comprend : une batterie secondaire (10) plane comportant une électrode plane (22) et agencée de manière que l'électrode plane (22) fasse face au travail (50) ; et un connecteur électrique (30) agencé entre le travail (50) et la batterie secondaire (10). La batterie secondaire (10) présente une structure dans laquelle une ligne de câblage peut être ressortie depuis l'électrode plane (22) vers une position arbitraire. Le connecteur électrique (30) présente une pluralité de contacts (31) qui font saillie vers les pastilles (51) ; et la pluralité de pastilles (51) et l'électrode plane (22) sont connectées électriquement l'une à l'autre par l'intermédiaire de la pluralité de contacts (31).
(JA)本発明にかかるプローブカード(100)は、複数のパッド(51)を有するワーク(50)を検査する。プローブカード(100)は、平面状の平面電極(22)を備え、平面電極(22)がワーク(50)と対向するように配置された平面状の二次電池(10)と、ワーク(50)と二次電池(10)との間に配置される電気的接続体(30)と、を備えている。二次電池(10)は、平面電極(22)の任意から配線を引き出せる構造を有している。電気的接続体(30)は、対向するパッド(51)に向けて突出する複数の接触子(31)を有しており、複数の接触子(31)を介して複数のパッド(51)と平面電極(22)とが電気的に接続されている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)