Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018024707) SYSTÈME DE TRANSPORT ET SYSTÈME D'USINAGE DE SUBSTRATS

Pub. No.:    WO/2018/024707    International Application No.:    PCT/EP2017/069390
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 02 01:59:59 CEST 2017
IPC: B65G 47/64
B65G 47/52
B65G 47/91
H01L 21/683
B65G 21/20
B65G 47/14
H01L 21/677
H01L 21/67
B65G 51/02
Applicants: ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
Inventors: WAMSLER, Florian
ARNOLD, Achim
OPPELT, Klaus
Title: SYSTÈME DE TRANSPORT ET SYSTÈME D'USINAGE DE SUBSTRATS
Abstract:
L'invention concerne un système de transport (1) destiné à des substrats (19), en particulier des tranches de semi-conducteurs, des cellules solaires, des plaquettes de circuits imprimés ou similaires. Le système de transport comporte un premier dispositif (4), destiné à maintenir et transporter les substrats (19), qui comporte une tête de préhension (11) pourvue sur son côté inférieur (10) d'au moins une première surface d'application (11) destinée à l'application d'un substrat (19) et au moins un moyen d'aspiration (8) destiné à aspirer le substrat (19) contre la surface d'application (11), et un deuxième dispositif (5), destiné à maintenir et transporter les substrats (19), qui comporte au moins une deuxième surface d'application (18) sur laquelle un substrat (19) peut être appliqué, et un moyen (20) destiné à déplacer le substrat appliqué (19) de la deuxième surface d'application (18) à la première surface d'application (11). Il est prévu de munir le moyen (20) d'au moins une buse d'air comprimé (21) disposée sous la deuxième surface d'application (18) de manière à ce qu'un flux d'air comprimé, généré par ladite buse, s'écoule en direction d'un substrat (19), placé sur la deuxième surface d'application, pour soulever le substrat (19) en direction de la première surface d'application (11).