Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018022577) MISE À NIVEAU FINE D'UN SUSCEPTEUR À GRAND CARROUSEL

Pub. No.:    WO/2018/022577    International Application No.:    PCT/US2017/043654
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Jul 26 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/683
H01L 21/02
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: GANGAKHEDKAR, Kaushal
Title: MISE À NIVEAU FINE D'UN SUSCEPTEUR À GRAND CARROUSEL
Abstract:
L'invention concerne des assemblages de socle comportant une plaque de barrière thermique, une plaque de couple et au moins une monture cinématique pour changer un plan formé par la plaque de barrière thermique. L'invention porte également sur des assemblages de suscepteur et sur des chambres de traitement incorporant les assemblages de socle. L'invention porte également sur des procédés de mise à niveau d'un suscepteur pour former des plans parallèles entre la surface du suscepteur et une surface d'assemblage de distribution de gaz.