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1. (WO2018022185) MÉMOIRE NON VOLATILE À VARIATIONS RÉDUITES DE RÉSISTANCE DE GRILLE

Pub. No.:    WO/2018/022185    International Application No.:    PCT/US2017/034890
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Mon May 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 27/11556
H01L 27/11582
H01L 29/788
H01L 29/792
Applicants: SANDISK TECHNOLOGIES LLC
Inventors: BARASKAR, Ashish
MAKALA, Raghuveer S.
LU, Ching-Huang
LEE, Yao-Sheng
CHEN, Jian
Title: MÉMOIRE NON VOLATILE À VARIATIONS RÉDUITES DE RÉSISTANCE DE GRILLE
Abstract:
L'invention concerne une mémoire non volatile tridimensionnelle comprenant une pluralité de couches de lignes de mots disposées en alternance avec une pluralité de couches diélectriques en une pile sur un substrat. Des lignes de mots supérieures sont appliquées pour être plus épaisses que des lignes de mots inférieures afin de réduire la variation de résistance parmi les lignes de mots.