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1. (WO2018021748) DISPOSITIF D'ACQUISITION D'IMAGE MULTIFOCALE ET SYSTÈME D'INSPECTION DE SURFACE D'ÉCHANTILLON
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N° de publication :    WO/2018/021748    N° de la demande internationale :    PCT/KR2017/007674
Date de publication : 01.02.2018 Date de dépôt international : 17.07.2017
CIB :
G02B 3/10 (2006.01), G02B 21/24 (2006.01), G01N 21/64 (2006.01)
Déposants : KYUNGPOOK NATIONAL UNIVERSITY INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION [KR/KR]; 80, Daehak-ro Buk-gu Daegu 41566 (KR)
Inventeurs : KIM, Min Young; (KR).
KIM, Byeong Hak; (KR)
Mandataire : KIM, Tae-hun; (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2016-0095673 27.07.2016 KR
Titre (EN) MULTIFOCAL IMAGE ACQUISITION DEVICE AND SAMPLE SURFACE INSPECTION SYSTEM
(FR) DISPOSITIF D'ACQUISITION D'IMAGE MULTIFOCALE ET SYSTÈME D'INSPECTION DE SURFACE D'ÉCHANTILLON
(KO) 다초점 영상 획득 장치 및 샘플 표면 검사 시스템
Abrégé : front page image
(EN)Provided are a multifocal image acquisition device and a sample surface inspection system for inspecting a sample surface. A multifocal image acquisition device according to an embodiment of the present disclosure may comprise: a first lighting unit including a plurality of first surface illuminations arranged in different directions with respect to the position where a sample is placed; a second lighting unit including a plurality of second surface illuminations disposed above the plurality of first surface illuminations, respectively; a camera which can photograph the sample from above the position where the sample is placed; and a processor for changing an illumination incident angle to the sample by sequentially turning on and off the first lighting unit and the second lighting unit and performing control such that the camera photographs the sample, so as to acquire a plurality of images having different focal lengths.
(FR)L'invention porte également sur un dispositif d'acquisition d'image multifocale et sur un système d'inspection de surface d'échantillon pour inspecter une surface d'échantillon. Un dispositif d'acquisition d'image multifocale selon un mode de réalisation de la présente invention peut comprendre: une première unité d'éclairage comprenant une pluralité de premiers éclairages de surface disposés dans des directions différentes par rapport à la position où un échantillon est placé; une seconde unité d'éclairage comprenant une pluralité de seconds éclairages de surface disposés au-dessus de la pluralité de premiers éclairages de surface, respectivement; une caméra qui peut photographier l'échantillon à partir du dessus de la position où l'échantillon est placé; et un processeur pour modifier un angle d'incidence d'éclairage par rapport à l'échantillon en allumant et en éteignant séquentiellement la première unité d'éclairage et la seconde unité d'éclairage et en effectuant une commande de telle sorte que la caméra photographie l'échantillon, de façon à acquérir une pluralité d'images ayant des longueurs focales différentes.
(KO)샘플 표면 검사를 위한 다초점 영상 획득 장치 및 샘플 표면 검사 시스템이 제공된다. 본 개시의 일 실시 예에 따른 다초점 영상 획득 장치는, 샘플 배치 위치를 기준으로 서로 다른 방향으로 배치된 복수의 제1 면 조명을 포함하는 제1 조명부, 복수의 제1 면 조명의 상측에 각각 배치된 복수의 제2 면 조명을 포함하는 제2 조명부, 샘플 배치 위치의 상단 방향에서 샘플을 촬영 가능한 카메라 및 제1 조명부 및 제2 조명부를 순차적으로 점멸하여 샘플에 대한 조명 입사 각도를 변경하며, 카메라를 제어하여 샘플을 촬영하여, 초점 거리가 상이한 복수의 영상을 획득하는 프로세서를 포함할 수 있다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)