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1. (WO2018021581) DISPOSITIF DE MAINTIEN DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN TEL DISPOSITIF, ET APPAREIL ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT OU D'IMAGERIE D'UN ÉCHANTILLON
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N° de publication :    WO/2018/021581    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/028156
Date de publication : 01.02.2018 Date de dépôt international : 27.07.2017
CIB :
H01L 21/683 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. [NL/NL]; Computerlaan 15, 2628 XK DELFT (NL)
Inventeurs : SCHEFFERS, Paul IJmert; (NL).
PEIJSTER, Jerry Johannes Martinus; (NL)
Mandataire : KURATA, Masatoshi; c/o SUZUYE & SUZUYE, 11th Floor, Celestine Shiba Mitsui Bldg., 3-23-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo 1050014 (JP)
Données relatives à la priorité :
15/222, 708 28.07.2016 US
15/222, 705 28.07.2016 US
Titre (EN) SUBSTRATE HOLDING DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SUCH A DEVICE, AND APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING OR IMAGING A SAMPLE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTIEN DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN TEL DISPOSITIF, ET APPAREIL ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT OU D'IMAGERIE D'UN ÉCHANTILLON
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a substrate holding device comprising a holding plate, a base plate, an array of supports, and an array of droplets of a heat absorbing material. The holding plate comprises a first side for holding a substrate. The base plate is arranged at distance from the holding plate and provides a gap between the base plate and the holding plate at a side of the holding plate opposite to the first side. The array of supports is arranged in between the holding plate and the base plate. The array of liquid and/or solid droplets is arranged in between the holding plate and the base plate, and the droplets are arranged to contact both the base plate and the holding plate. The droplets are arranged spaced apart from each other and from the supports, and are arranged adjacent to each other in a direction along the gap.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de maintien de substrat comprenant une plaque de maintien, une plaque de base, un réseau de supports et un réseau de gouttelettes d'un matériau absorbant la chaleur. La plaque de maintien comprend un premier côté permettant de maintenir un substrat. La plaque de base est disposée à distance de la plaque de maintien et forme un espace entre la plaque de base et la plaque de maintien sur un côté de la plaque de maintien opposé au premier côté. Le réseau de supports est disposé entre la plaque de maintien et la plaque de base. Le réseau de gouttelettes liquides et/ou solides est disposé entre la plaque de maintien et la plaque de base, et les gouttelettes sont disposées de manière à venir en contact à la fois avec la plaque de base et la plaque de maintien. Les gouttelettes sont espacées les unes des autres et des supports, et sont disposées adjacentes les unes aux autres dans une direction le long de l'espace.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)