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1. (WO2018021562) DISPOSITIF DE NETTOYAGE À MICROBULLES ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE À MICROBULLES

Pub. No.:    WO/2018/021562    International Application No.:    PCT/JP2017/027551
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Jul 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
G02F 1/13
H01L 21/027
Applicants: PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD.
パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventors: HIDAKA Yoshiharu
日高 義晴
YAMAMOTO Hiroshi
山本 寛
Title: DISPOSITIF DE NETTOYAGE À MICROBULLES ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE À MICROBULLES
Abstract:
Selon la présente invention, il existe des cas dans lesquels, même lorsque de fines bulles doivent être utilisées pour nettoyer un semi-conducteur ou un dispositif électronique, les bulles fines sont présentes de manière stable pendant une longue période et ne peuvent donc pas s'éclater efficacement sur la surface d'un objet étant nettoyé. Ce dispositif de nettoyage à microbulles est caractérisé en ce qu'il comporte : un dispositif de génération de microbulles qui génère des microbulles dans un liquide de nettoyage et génère ainsi un liquide de nettoyage à bulles ; un dispositif d'éclatement spontané de bulles qui génère un liquide de nettoyage à bulles de courte durée de vie en réduisant la durée de vie des microbulles dans le liquide de nettoyage ; et un bain de nettoyage dans lequel le liquide de nettoyage à bulles de courte durée de vie et un objet devant être nettoyé sont mis en contact. Le dispositif de nettoyage à microbulles règle, à l'avance, la durée de vie des microbulles pour qu'elle soit courte et, par conséquent, amène les microbulles à s'éclater spontanément après avoir atteint l'objet étant nettoyé, ce qui permet d'augmenter la capacité de nettoyage.