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1. (WO2018020878) COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE UTILISANT LADITE COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE
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N° de publication :    WO/2018/020878    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/021835
Date de publication : 01.02.2018 Date de dépôt international : 13.06.2017
CIB :
H01L 21/304 (2006.01), C11D 3/36 (2006.01)
Déposants : FUJIMI INCORPORATED [JP/JP]; 1-1, Chiryo 2-chome, Nishibiwajima-cho, Kiyosu-shi, Aichi 4528502 (JP)
Inventeurs : ISHIDA, Yasuto; (JP)
Mandataire : HATTA & ASSOCIATES; Dia Palace Nibancho, 11-9, Nibancho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020084 (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-146627 26.07.2016 JP
Titre (EN) SURFACE TREATMENT COMPOSITION AND SURFACE TREATMENT METHOD USING SAID SURFACE TREATMENT COMPOSITION
(FR) COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE UTILISANT LADITE COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE
(JA) 表面処理組成物およびこれを用いた表面処理方法
Abrégé : front page image
(EN)The present invention pertains to a surface treatment composition that contains a phosphonic acid compound containing two or more nitrogen atoms, and water, the surface treatment composition having a pH of 6 or less, and being used for treating the surface of an object to be polished with a polishing agent having a layer containing tungsten. According to the present invention, provided is a means by which, when performing surface treatment, it is possible to suppress dissolving of the layer containing tungsten provided in the object to be polished with a polishing agent.
(FR)La présente invention concerne une composition de traitement de surface qui contient un composé d'acide phosphonique contenant deux atomes d'azote ou plus, et de l'eau, la composition de traitement de surface ayant un pH de 6 ou moins, et étant utilisée pour traiter la surface d'un objet à polir avec un agent de polissage ayant une couche contenant du tungstène. Selon la présente invention, il est prévu un moyen qui, lors de la réalisation d'un traitement de surface, il est possible de supprimer la dissolution de la couche contenant du tungstène fournie dans l'objet à polir avec un agent de polissage.
(JA)本発明は、窒素原子を2以上含むホスホン酸化合物、および水を含み、pHが6以下であり、タングステンを含む層を有する研磨済研磨対象物の表面を処理するために用いられる、表面処理組成物に関する。本発明によれば、表面処理を行う際、研磨済研磨対象物に備えられたタングステンを含む層の溶解を抑制することができる手段が提供される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)