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1. (WO2018020878) COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE UTILISANT LADITE COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE

Pub. No.:    WO/2018/020878    International Application No.:    PCT/JP2017/021835
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Jun 14 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
C11D 3/36
Applicants: FUJIMI INCORPORATED
株式会社フジミインコーポレーテッド
Inventors: ISHIDA, Yasuto
石田 康登
Title: COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE UTILISANT LADITE COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE
Abstract:
La présente invention concerne une composition de traitement de surface qui contient un composé d'acide phosphonique contenant deux atomes d'azote ou plus, et de l'eau, la composition de traitement de surface ayant un pH de 6 ou moins, et étant utilisée pour traiter la surface d'un objet à polir avec un agent de polissage ayant une couche contenant du tungstène. Selon la présente invention, il est prévu un moyen qui, lors de la réalisation d'un traitement de surface, il est possible de supprimer la dissolution de la couche contenant du tungstène fournie dans l'objet à polir avec un agent de polissage.