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1. (WO2018020863) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN FILM DE REVÊTEMENT, APPAREIL DE FORMATION D'UN FILM DE REVÊTEMENT ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT LISIBLE PAR ORDINATEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/020863    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/021596
Date de publication : 01.02.2018 Date de dépôt international : 12.06.2017
CIB :
H01L 21/027 (2006.01), B05B 7/04 (2006.01), B05B 7/16 (2006.01), B05D 1/02 (2006.01), B05D 3/02 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventeurs : OKAMOTO Yoshiki; (JP).
MIYAMOTO Tetsushi; (JP).
OOMURA Kazuhisa; (JP)
Mandataire : HASEGAWA Yoshiki; (JP).
KUROKI Yoshiki; (JP).
KASHIOKA Junji; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-147625 27.07.2016 JP
Titre (EN) METHOD FOR FORMING COATING FILM, APPARATUS FOR FORMING COATING FILM AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN FILM DE REVÊTEMENT, APPAREIL DE FORMATION D'UN FILM DE REVÊTEMENT ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT LISIBLE PAR ORDINATEUR
(JA) 塗布膜形成方法、塗布膜形成装置、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
Abrégé : front page image
(EN)This method for producing a coating film comprises: a first step for heating a body W to be processed, which comprises a substrate W1 and a projected part W2 provided on the surface of the substrate W1; a second step for obtaining a heated liquid by heating a coating liquid; and a third step for spraying the heated liquid in the form of droplets from a nozzle N onto the surface of the body W to be processed, which has been heated in the first step.
(FR)Ce procédé de production d'un film de revêtement comprend : une première étape de chauffage d'un corps W à traiter, qui comprend un substrat W1 et une partie saillante W2 disposée sur la surface du substrat W1; une seconde étape consistant à obtenir un liquide chauffé par chauffage d'un liquide de revêtement; et une troisième étape de pulvérisation du liquide chauffé sous forme de gouttelettes d'une buse N sur la surface du corps W à traiter, qui a été chauffée dans la première étape.
(JA)塗布膜形成方法は、基板W1と、基板W1の表面に設けられた凸部W2とを含む被処理体Wを加熱する第1の工程と、塗布液を加熱して加熱液体を得る第2の工程と、第1の工程において加熱された後の被処理体Wの表面に対して、加熱液体を液滴の状態にてノズルNから吹き付ける第3の工程を含む。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)