WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2018020601) GABARIT DE MESURE POUR APPAREIL DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/020601 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/072003
Date de publication : 01.02.2018 Date de dépôt international : 27.07.2016
CIB :
G01B 7/06 (2006.01)
Déposants : THE CHUGOKU ELECTRIC POWER CO., INC.[JP/JP]; 4-33, Komachi, Naka-ku, Hiroshima-shi, Hiroshima 7308701, JP
Inventeurs : MAKABE, Katsuhisa; JP
Mandataire : ISSHIKI & CO.; Mita-Nitto Daibiru Bldg., 11-36, Mita 3-chome, Minato-ku, Tokyo 1080073, JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) MEASUREMENT JIG FOR FILM THICKNESS METER
(FR) GABARIT DE MESURE POUR APPAREIL DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM
(JA) 膜厚計の測定治具
Abrégé : front page image
(EN) Provided is a measurement jig 1 that is used in a state of being attached to a probe 52 of a film thickness meter 5 that has a rod-like core 520 and coils 521, 522 wrapped around the core 520 and measures film thickness on the basis of magnetic flux variation when the leading end of the core 520 is made to approach an object to be measured 2. The measurement jig 1 includes a slide member 11 to which the probe 52 is fixed and a guide member 12 that supports the slide member 11 to which the probe 52 is fixed such that the slide member 11 can slide in the axial direction of the core 520. On the side of the core 520 that is made to approach the object to be measured 2, the guide member 12 has a flat surface that is perpendicular to the axis of the core 520. Using a measurement jig 1 comprising the above configuration enhances the work efficiency of film thickness measurement using a film thickness meter 5 and makes it possible to ensure measurement accuracy.
(FR) L'invention porte sur un gabarit de mesure 1 qui est utilisé dans un état de fixation à une sonde 52 d'un appareil de mesure d'épaisseur de film 5 possédant une partie centrale 520 en forme de tige et des bobines 521, 522 enroulées autour de la partie centrale 520 et qui mesure l'épaisseur d'un film sur la base de la variation du flux magnétique lorsque l'extrémité avant de la partie centrale 520 est amenée à s'approcher d'un objet à mesurer 2. Le gabarit de mesure 1 comprend un élément coulissant 11 sur lequel la sonde 52 est fixée et un élément de guidage 12 qui supporte l'élément coulissant 11 auquel la sonde 52 est fixée de sorte que l'élément coulissant 11 puisse coulisser dans la direction axiale de la partie centrale 520. Sur le côté de la partie centrale 520 qui est amené à s'approcher de l'objet à mesurer 2, l'élément de guidage 12 possède une surface plate qui est perpendiculaire à l'axe de la partie centrale 520. L'utilisation d'un gabarit de mesure 1 comprenant la configuration ci-dessus améliore l'efficacité de la mesure de l'épaisseur du film à l'aide d'un appareil de mesure d'épaisseur de film 5 et permet de garantir la précision de la mesure.
(JA) 棒状の磁心520と磁心520に巻回されたコイル521,522とを有し、磁心520の先端を測定対象物2に接近させた際の磁束の変化に基づき膜厚を測定する膜厚計5のプローブ52に装着して用いる測定治具1を提供する。測定治具1は、プローブ52が固定されるスライド部材11と、プローブ52が固定されたスライド部材11を、磁心520の軸方向にスライドさせるように支持するガイド部材12とを含む。ガイド部材12は、磁心520の測定対象物2に接近させる側に、磁心520の軸に対して直角な平坦面を有する。以上の構成からなる測定治具1を用いることで、膜厚計5を用いた膜厚の測定における作業効率を向上するとともに測定精度を確保することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)