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1. (WO2018020549) DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS

Pub. No.:    WO/2018/020549    International Application No.:    PCT/JP2016/071721
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jul 26 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/338
H01L 29/778
H01L 29/812
Applicants: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
三菱電機株式会社
Inventors: YAMAGUCHI, Yutaro
山口 裕太郎
HANGAI, Masatake
半谷 政毅
YAMANAKA, Koji
山中 宏治
Title: DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif à semi-conducteurs (1) qui est pourvu : d'un substrat de base ; d'une couche semi-conductrice formée sur le substrat de base ; de motifs d'électrode (10, 21-24) dans lesquels des électrodes de drain et de source sont alternativement disposées en réseau dans la direction de réseau prédéterminée (X) sur la couche semi-conductrice ; d'un groupe de doigts de grille (31-38) présentant chacun une forme s'étendant dans la direction d'extension (Y) qui est différente de la direction de réseau (X). Chaque doigt du groupe de doigts de grille (31-38) est disposé dans une région située entre les électrodes de drain et de source. En outre, les doigts de grille (31-38) sont disposés à des emplacements écartés les uns des autres dans la direction d'extension (Y).