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1. (WO2018020026) DISPOSITIF POUR SAISIR ET TRANSPORTER DES SUBSTRATS
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N° de publication :    WO/2018/020026    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/069214
Date de publication : 01.02.2018 Date de dépôt international : 28.07.2017
CIB :
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), B65G 21/20 (2006.01), B65G 17/32 (2006.01), B65H 5/22 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH [DE/DE]; Benzstr. 10 89160 Dornstadt (DE)
Inventeurs : WAMSLER, Florian; (DE).
ARNOLD, Achim; (DE).
OPPELT, Klaus; (DE)
Mandataire : CLARENBACH, Carl-Philipp; (DE).
GLEISS, Alf-Olav; (DE).
SCHRELL, Andreas; (DE).
SCHWAHN, Hartmut; (DE).
WOHLFAHRT, Jan; (DE).
KORDEL, Mattias; (DE).
DIETZ, Christopher; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2016 214 093.0 29.07.2016 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG ZUM GREIFEN UND TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN
(EN) DEVICE FOR GRIPPING AND TRANSPORTING SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF POUR SAISIR ET TRANSPORTER DES SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Greifen und Transportieren von Substraten, insbesondere Wafern, Solarzellen, Leiterplatten oder dergleichen, mit einem Greifkopf (2), der zumindest einen einer Auflagefläche (29) zum Auflegen auf ein Substrat bildenden Transportriemen (16) aufweist, wobei der Transportriemen (16) an einer Unterseite des Greifkopfs (2) entlang einer Lauffläche (15) geführt ist, und wobei der Greifkopf (2) eine Saugeinrichtung zum Ansaugen des Substrats gegen die Auflagefläche (29) aufweist. Es ist vorgesehen, dass die Lauffläche (15) nach unten vorstehend gekrümmt ausgebildet ist.
(EN)The invention relates to a device (1) for gripping and transporting substrates, in particular wafers, solar cells, circuit boards, or the like, comprising a gripping head (2) having at least one transport belt (16) that forms a support surface (29) for placing on a substrate. The transport belt (16) is guided on an underside of the gripping head (2) along a running surface (15), wherein the gripping head (2) has a suction unit for suctioning the substrate against the support surface (29). According to the invention, the running surface (15) is formed to be curved and projecting downwards.
(FR)L'invention concerne un dispositif (1) pour saisir et transporter des substrats, en particulier des tranches, des cellules solaires, des cartes de circuit imprimé ou similaire, ce dispositif comprenant une tête de préhension (2) qui présente au moins une courroie de transport (16) formant une surface d’appui (29) destinée à être appuyée sur un substrat. La courroie de transport (16) est guidée au niveau d'un côté inférieur de la tête de préhension (2) le long d'une surface de roulement (15), et la tête de préhension (2) présente un système d’aspiration pour aspirer le substrat contre la surface d’appui (29). Selon l'invention, la surface de roulement (15) présente une courbure saillante vers le bas.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)