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1. (WO2018019532) PROCÉDÉ DE POLISSAGE DE SURFACES MÉTALLIQUES CONDUCTRICES

Pub. No.:    WO/2018/019532    International Application No.:    PCT/EP2017/066768
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Jul 06 01:59:59 CEST 2017
IPC: C25F 3/16
C25F 5/00
C25F 7/00
Applicants: LEIBNIZ-INSTITUT FÜR PLASMAFORSCHUNG UND TECHNOLOGIE E.V.
Inventors: POLAK, Martin
WELTMANN, Klaus-Dieter
IHRKE, Roland
FRÖHLICH, Maik
QUADE, Antje
Title: PROCÉDÉ DE POLISSAGE DE SURFACES MÉTALLIQUES CONDUCTRICES
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de polissage d’une surface métallique conductrice. Le procédé comprend les étapes de a) fourniture d’un électrolyte comprenant du nitrate d’ammonium et du chlorure d’ammonium, b) connexion d’une première électrode à la surface métallique conductrice et connexion d’une seconde électrode à l’électrolyte, ladite surface métallique conductrice étant l’anode. Ensuite, une phase gazeuse entourant la surface métallique conductrice est générée. Cette étape comprend selon aucun ordre particulier une première étape de tension et une étape d’immersion. La première étape de tension comprend l’application d’une première tension électrique à la première et seconde électrode, cette première tension électrique convenant pour produire la phase gazeuse. L’étape d’immersion comprend la mise en contact de la surface métallique conductrice avec l’électrolyte. Ensuite, une second tension électrique est appliquée et maintenue sur une durée d’au moins 1 seconde.