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1. (WO2018019292) TRANSISTOR TRIBOÉLECTRONIQUE TRANSPARENT ET SOUPLE, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET SYSTÈME D'INTÉGRATION DE CIRCUIT

Pub. No.:    WO/2018/019292    International Application No.:    PCT/CN2017/094911
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Jul 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H02N 1/04
H01L 29/786
Applicants: BEIJING INSTITUTE OF NANOENERGY AND NANOSYSTEMS
北京纳米能源与系统研究所
Inventors: ZHANG, Chi
张弛
WANG, Zhonglin
王中林
PANG, Yaokun
逄尧堃
Title: TRANSISTOR TRIBOÉLECTRONIQUE TRANSPARENT ET SOUPLE, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET SYSTÈME D'INTÉGRATION DE CIRCUIT
Abstract:
L'invention porte sur un transistor triboélectronique transparent et souple et sur son procédé de fabrication, ainsi que sur un système d'intégration de circuit. Le transistor triboélectronique transparent et souple comprend un substrat souple (10), un transistor à couches minces (20) et un générateur triboélectrique (30). Le transistor à couches minces (20) est formé au niveau d'une première surface du substrat souple (10). Le générateur triboélectrique (30) comprend : une première électrode (31) ; une seconde électrode (32) ; une partie de frottement mobile (33). La première électrode (31) et la seconde électrode (32) sont disposées parallèlement l'une à l'autre, formées sur une seconde surface du substrat souple (10) et isolées l'une de l'autre. La partie de frottement mobile (33) est disposée à l'opposé de la première électrode (31) et de la seconde électrode (32), et peut coulisser entre ces dernières lorsque ladite partie de frottement mobile est sollicitée par une force externe, ce qui permet de former une différence de potentiel entre les deux électrodes, et d'exécuter une commande de commutation du transistor à couches minces (20) au moyen de la différence de potentiel. L'invention concerne également un nouveau transistor triboélectronique transparent et souple pouvant utiliser un nanogénérateur triboélectrique coulissant de manière à exécuter une commande active et continue, et présentant de bonnes perspectives d'application.