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1. (WO2018019264) APPAREIL DE MESURE DE RÉSEAU
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N° de publication : WO/2018/019264 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/094612
Date de publication : 01.02.2018 Date de dépôt international : 27.07.2017
CIB :
G01B 11/02 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD.[CN/CN]; 1525 Zhangdong Road Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventeurs : WU, Ping; CN
ZHANG, Zhiping; CN
Mandataire : SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335, CN
Données relatives à la priorité :
201610614519.829.07.2016CN
Titre (EN) GRATING MEASUREMENT APPARATUS
(FR) APPAREIL DE MESURE DE RÉSEAU
(ZH) 光栅测量装置
Abrégé : front page image
(EN) A grating measurement apparatus, comprising: a light source module (300), used for generating two light beams having different frequencies, one of the two light beams serving as a measurement light beam, and the other one serving as a reference light beam; a grating (200) and a grating measurement probe (100), comprising a dual-frequency light incident module, a vertical measurement module, a vertical detection module, and a reference detection module, the dual-frequency light incident module receiving the measurement light beam and the reference light beam, the vertical measurement module projecting the measurement light beam to the grating (200), collecting a zero-order diffraction light of a diffraction light on which double diffraction has been performed by the grating, and projecting the zero-order diffraction light to the vertical detection module, interference between the zero-order diffraction light beam and the reference light beam occurring to form a vertical interference signal, and interference between the measurement light beam and the reference light beam in the reference detection module occurring to form a reference interference signal; and a signal processing module for calculating a vertical offset of the grating (200) after receiving the vertical interference signal and the reference interference signal. The grating measurement apparatus can implement large-range vertical offset measurement in a working distance.
(FR) L'invention concerne un appareil de mesure de réseau qui comprend : un module de source de lumière (300), utilisé pour générer deux faisceaux de lumière ayant des fréquences différentes, l'un des deux faisceaux de lumière faisant office de faisceau de lumière de mesure et l'autre faisant office de faisceau de lumière de référence ; un réseau (200) et une sonde de mesure de réseau (100), comportant un module d'incidence de lumière à deux fréquences, un module de mesure vertical, un module de détection vertical et un module de détection de référence, le module d'incidence de lumière à deux fréquences recevant le faisceau de lumière de mesure et le faisceau de lumière de référence, le module de mesure vertical projetant le faisceau de lumière de mesure sur le réseau (200), captant une lumière de diffraction d'ordre zéro d'une lumière de diffraction sur laquelle une double diffraction a été effectuée par le réseau, et projetant la lumière de diffraction d'ordre zéro sur le module de détection vertical, une interférence entre le faisceau de lumière de diffraction d'ordre zéro et le faisceau de lumière de référence se produisant pour former un signal d'interférence vertical, et une interférence entre le faisceau de lumière de mesure et le faisceau de lumière de référence dans le module de détection de référence se produisant pour former un signal d'interférence de référence ; un module de traitement de signal pour calculer un décalage vertical du réseau (200) après réception du signal d'interférence vertical et du signal d'interférence de référence. L'appareil de mesure de réseau peut mettre en œuvre une mesure de décalage vertical de grande portée à une distance de travail.
(ZH) 一种光栅测量装置,包括:光源模块(300),用于产生频率不同的两束光束,两束光束中的一束作为测量光束,另一束作为参考光束;光栅(200)以及光栅测量探头(100),包括双频入光模块、垂向测量模块、垂向探测模块及参考探测模块,双频入光模块接收测量光束和参考光束,垂向测量模块将测量光束投射到光栅(200)上,收集经光栅二次衍射后衍射光的零级衍射光,并将零级衍射光投射至垂向探测模块,零级衍射光束与参考光束在垂向探测模块中发生干涉形成垂向干涉信号,参考探测模块中的所属测量光束和参考光束发生干涉形成参考干涉信号;信号处理模块接收垂向干涉信号和参考干涉信号后计算光栅(200)的垂向位移。该光栅测量装置能够在工作距离下,实现大范围垂向位移测量。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)