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1. (WO2017223323) BANDE DE SILICIUM AMORPHE FLUIDE POUR APPLICATIONS DE REMPLISSAGE D'ESPACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2017/223323 N° de la demande internationale : PCT/US2017/038770
Date de publication : 28.12.2017 Date de dépôt international : 22.06.2017
CIB :
H01L 21/768 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs : MANNA, Pramit; US
MALLICK, Abhijit Basu; US
JANAKIRAMAN, Karthik; US
Mandataire : BLANKMAN, Jeffrey I.; US
Données relatives à la priorité :
62/354,74325.06.2016US
Titre (EN) FLOWABLE AMORPHOUS SILICON FILMS FOR GAPFILL APPLICATIONS
(FR) BANDE DE SILICIUM AMORPHE FLUIDE POUR APPLICATIONS DE REMPLISSAGE D'ESPACE
Abrégé : front page image
(EN) Methods for seam-less gapfill comprising forming a flowable film by PECVD and curing the flowable film to solidify the film. The flowable film can be formed using a higher order silane and plasma. A UV cure, or other cure, can be used to solidify the flowable film.
(FR) L'invention porte sur des procédés de remplissage sans couture d'une bande, comprenant la formation d'une bande fluide par dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma (PECVD) et le traitement de la bande fluide pour solidifier la bande. La bande fluide peut être formé à l'aide d'un silane et d'un plasma d'ordre supérieur. Un traitement UV, ou un autre traitement, peut être utilisé pour solidifier la bande fluide.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)