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1. (WO2017222876) ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE GALETTE DOTÉ DE MICRO-CAPTEURS CAPACITIFS

Pub. No.:    WO/2017/222876    International Application No.:    PCT/US2017/037322
Publication Date: Fri Dec 29 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed Jun 14 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/66
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: TADESCHI, Leonard
RAMASWAMY, Kartik
MCCORMICK, Daniel Thomas
MEAGLEY, Robert Paul
Title: ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE GALETTE DOTÉ DE MICRO-CAPTEURS CAPACITIFS
Abstract:
Des modes de réalisation de l'invention concernent des dispositifs et des procédés pour détecter des particules, surveiller les taux de gravure ou de dépôt, ou commander une opération d'un processus de fabrication de galette. Dans un mode de réalisation, un dispositif de surveillance de particules servant à la détection de particules comprend plusieurs micro-capteurs capacitifs montés sur un substrat de galette pour détecter des particules dans tous les régimes de pression, par exemple dans des conditions de vide. Dans un mode de réalisation, un ou plusieurs micro-capteurs capacitifs sont montés sur un outil de traitement de galette afin de mesurer les taux de dépôt et de retrait de matière en temps réel pendant le processus de fabrication de galette. D'autres modes de réalisation de la présente invention sont également décrits et revendiqués.