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1. (WO2017222682) CIBLES DE PULVÉRISATION DE TUNGSTÈNE-BORE, ET FILMS AINSI RÉALISÉS
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N° de publication : WO/2017/222682 N° de la demande internationale : PCT/US2017/033059
Date de publication : 28.12.2017 Date de dépôt international : 17.05.2017
CIB :
B22F 1/00 (2006.01) ,B22F 9/04 (2006.01) ,C23C 14/34 (2006.01)
Déposants : TOSOH SMD, INC.[US/US]; 3600 Gantz Road Grove City, Ohio 43123, US
Inventeurs : IVANOV, Eugene Y.; US
DEL RIO, Eduardo; US
Mandataire : FABRY, Michelle M.; US
PEACOCK, Bruce E.; US
WORGULL, Jason A.; US
RESSER, David A.; US
HAWK, Julie D.; US
HAYES, Charles Andrew; US
COTTON, Benjamin B.; US
Données relatives à la priorité :
62/354,21424.06.2016US
Titre (EN) TUNGSTEN-BORON SPUTTER TARGETS AND FILMS MADE THEREBY
(FR) CIBLES DE PULVÉRISATION DE TUNGSTÈNE-BORE, ET FILMS AINSI RÉALISÉS
Abrégé : front page image
(EN) A Me-B based alloy spherical powder for use in a sputtering target including a metal powder selected from the group consisting of: Mo, W, Ta, Nb, Hf and Ti; a BN powder; and optionally a binary or ternary compound powder, as well as W/B sputter targets, alloys, and barrier/seed films made by such targets. A combined diffusion barrier layer is provided by sputter coating of a W/B sputter target either directly or by reactive sputtering with nitrogen wherein the B content of the alloy is about 0.5 wt% - 10 wt%. The oxygen content of the alloy target is about 50 ppm or less. Preferably, the alloy is 99.995% pure.
(FR) L'invention concerne une poudre sphérique d'alliage à base de Me-B, destinée à être utilisée dans une cible de pulvérisation, comprenant une poudre métallique choisie parmi le groupe constitué de : Mo, W, Ta, Nb, Hf et Ti ; une poudre de BN ; et éventuellement une poudre de composé binaire ou ternaire, ainsi que des cibles de pulvérisation W/B, des alliages et des films de barrière/semence réalisés par de telles cibles. Une couche barrière de diffusion combinée est obtenue par revêtement par pulvérisation cathodique d'une cible de pulvérisation W/B directement ou par pulvérisation cathodique réactive à l'azote, la teneur en B de l'alliage allant d'environ 0,5 % en poids à 10 % en poids. La teneur en oxygène de la cible d'alliage est d'environ 50 ppm ou moins. De préférence, l'alliage a une pureté de 99,995 %.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)