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1. (WO2017221821) DISPOSITIF CIBLE ET APPAREIL DE PULVÉRISATION

Pub. No.:    WO/2017/221821    International Application No.:    PCT/JP2017/022263
Publication Date: Fri Dec 29 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat Jun 17 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/35
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
Inventors: SHIRAI Masanori
白井 雅紀
YAMAMOTO Takuji
山本 拓司
TAKASAWA Satoru
高澤 悟
ISHIBASHI Satoru
石橋 暁
Title: DISPOSITIF CIBLE ET APPAREIL DE PULVÉRISATION
Abstract:
L'invention concerne un dispositif cible et un appareil de pulvérisation présentant des rendements élevés d'utilisation cible. La surface avant (33) d'une plaque de perméabilité magnétique élevée en forme d'anneau (27) ayant une perméabilité magnétique supérieure à celle d'une plaque d’appui (21) est disposée en une position qui coïncide avec un plan d'aimant (31), dans lequel sont situées l'extrémité supérieure d'un aimant externe (25) et l'extrémité supérieure d'un aimant interne (26), ou est plus proche d'une cible de pulvérisation (22) que du plan d'aimant (31), et la surface arrière (32) est disposée en une position qui coïncide avec le plan d’aimant (31) ou est plus éloignée de la cible de pulvérisation (22) que du plan d’aimant (31). Étant donné que certaines des lignes inférieures d’une force magnétique émanant de l'extrémité supérieure de l'aimant externe (25) ou de l'extrémité supérieure de l'aimant interne (26) pénètrent la plaque de perméabilité magnétique élevée (27), traversent l'intérieur et pénètrent l'extrémité supérieure de l'aimant interne (26) ou l'extrémité supérieure de l'aimant externe (25), les lignes supérieures d’une force magnétique deviennent parallèles à la surface de pulvérisation (24) de la cible de pulvérisation (22) et l'efficacité de l'utilisation cible est améliorée.