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1. (WO2017221576) DISPOSITIF DE TRANSFERT, PROCÉDÉ DE TRANSFERT ET SYSTÈME D'INSPECTION
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N° de publication : WO/2017/221576 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/017857
Date de publication : 28.12.2017 Date de dépôt international : 11.05.2017
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 06.09.2017
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED[JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
Inventeurs : OBIKANE Tadashi; JP
UCHIDA Minoru; JP
Mandataire : TAKAYAMA Hiroshi; JP
Données relatives à la priorité :
2016-12158520.06.2016JP
Titre (EN) TRANSFER DEVICE, TRANSFER METHOD, AND INSPECTION SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DE TRANSFERT, PROCÉDÉ DE TRANSFERT ET SYSTÈME D'INSPECTION
(JA) 搬送装置および搬送方法、ならびに検査システム
Abrégé : front page image
(EN) The present invention has: a loader (31); a transfer path (50), which moves the loader (31) in the X direction, and which has a plurality of transfer positions for transferring a wafer W; a belt-driven drive mechanism (32) that moves the loader (31) along the transfer path (50) by means of a timing belt (51) disposed in the X direction; position sensors (71a, 71b) that transmit signals when the loader (31) reaches predetermined positions corresponding to the transfer positions; and a transfer control unit (81) that controls the loader (31). The transfer control unit (81) has coordinates relating to the position of the loader (31), and when the signals transmitted from the position sensors (71a, 71b) are received, the transfer control unit corrects, on the basis of the signals each time the signals are received, the loader (31) position data on the coordinates, said data being in the transfer control unit (81).
(FR) La présente invention comprend : un chargeur (31); un trajet de transfert (50), qui déplace le chargeur (31) dans la direction X, et qui a une pluralité de positions de transfert pour transférer une tranche W; un mécanisme d'entraînement entraîné par courroie (32) qui déplace le chargeur (31) le long du chemin de transfert (50) au moyen d'une courroie de synchronisation (51) disposée dans la direction X; des capteurs de position (71a, 71b) qui transmettent des signaux lorsque le chargeur (31) atteint des positions prédéterminées correspondant aux positions de transfert; et une unité de commande de transfert (81) qui commande le chargeur (31). L'unité de commande de transfert (81) a des coordonnées relatives à la position du chargeur (31), et lorsque les signaux transmis par les capteurs de position (71a, 71b) sont reçues, l'unité de commande de transfert corrige, sur la base des signaux à chaque fois que les signaux sont reçus, le chargeur (31) des données de position sur les coordonnées, lesdites données se trouvant dans l'unité de commande de transfert (81).
(JA) ローダー(31)と、ローダー(31)をX方向に沿って移動させ、ウエハWの受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路(50)と、X方向に配されたタイミングベルト(51)によりローダー(31)を搬送路(50)に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構(32)と、ローダー(31)が受け渡し位置に対応する所定の位置に達した際に信号を発する位置センサー(71a,71b)と、ローダー(31)を制御する搬送制御部(81)とを有し、搬送制御部(81)は、ローダー(31)の位置に関する座標を有し、位置センサー(71a,71b)からの信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、搬送制御部(81)における座標上のローダー(31)の位置データを補正する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)