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1. (WO2017221330) DISPOSITIF DE CAPTURE D'IMAGE HOLOGRAPHIQUE NUMÉRIQUE ET PORTE-ÉCHANTILLON
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N° de publication :    WO/2017/221330    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/068425
Date de publication : 28.12.2017 Date de dépôt international : 21.06.2016
CIB :
G03H 1/00 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01)
Déposants : OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 2951 Ishikawa-machi, Hachioji-shi Tokyo 1928507 (JP)
Inventeurs : OKAMURA Toshiro; (JP)
Mandataire : MORISHITA Sakaki; (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) DIGITAL HOLOGRAPHIC IMAGE PICKUP DEVICE AND SAMPLE HOLDER
(FR) DISPOSITIF DE CAPTURE D'IMAGE HOLOGRAPHIQUE NUMÉRIQUE ET PORTE-ÉCHANTILLON
(JA) デジタルホログラフィック撮像装置および試料ホルダ
Abrégé : front page image
(EN)An illuminating unit 10 irradiates a subject 4 to be inspected with illuminating light 12. A sample holder 6 holds the subject 4, and has an autofocusing (AF) mark 9 for changing the amplitude and/or phase of a part of the illuminating light 12. An image pickup element 20 includes a plurality of pixels that are two-dimensionally disposed on an image pickup surface 22, picks up an image of the intensity distribution of an interference pattern formed on the image pickup surface 22, and outputs image pickup data S2. An AF unit 80 generates, on the basis of the image pickup data S2, a first intensity distribution, i.e., the measured value of the interference pattern corresponding to the AF mark 9, calculates, by means of arithmetic processing, a second intensity distribution, i.e., the calculated value of the interference pattern corresponding to the AF mark 9, and performs autofocusing such that the first intensity distribution and the second intensity distribution are close to each other. A reconstitution calculation unit 30 reconstitutes, on the basis of the image pickup data S2, a subject image S1 indicating the subject 4.
(FR)L'invention concerne une unité d'éclairage (10) qui expose un sujet (4) à inspecter à une lumière d'éclairage (12). Un porte-échantillon (6) tient le sujet (4) et a un repère de mise au point automatique (AF) (9) pour changer l'amplitude et/ou la phase d'une partie de la lumière d'éclairage (12). Un élément de capture d'image (20) comprend une pluralité de pixels disposés en deux dimensions sur une surface (22) de capture d'image, capture une image de la distribution d'intensité d'un motif d'interférence formé sur la surface (22) de capture d'image, et délivre en sortie des données de capture d'image (S2). Une unité AF (80) génère, sur la base des données de capture d'image (S2), une première distribution d'intensité, c'est-à-dire, la valeur mesurée du motif d'interférence correspondant au repère d'AF (9), calcule, au moyen d'un traitement arithmétique, une seconde distribution d'intensité, c'est-à-dire la valeur calculée du motif d'interférence correspondant au repère d'AF (9), et effectue une mise au point automatique de telle sorte que la première distribution d'intensité et la seconde distribution d'intensité soient proches l'une de l'autre. Une unité de calcul de reconstitution (30) reconstitue, sur la base des données de capture d'image (S2), une image de sujet (S1) indiquant le sujet (4).
(JA)照明部10は、照明光12を被検物4に照射する。試料ホルダ6は、被検物4を保持し、照明光12の一部の振幅および位相の少なくとも一方を変化させるAFマーク9を有する。撮像素子20は、撮像面22に2次元状に配置された複数の画素を含み、撮像面22に形成される干渉パターンの強度分布を撮像し、撮像データS2を出力する。AF処理部80は、撮像データS2にもとづいてAFマーク9に対応する干渉パターンの測定値である第1強度分布を生成し、演算処理によりAFマーク9に対応する干渉パターンの計算値である第2強度分布を演算し、第1強度分布と第2強度分布が近づくようにオートフォーカス処理を行う。再構成演算部30は、撮像データS2にもとづいて、被検物4を表す被写体画像S1を再構成する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)