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1. (WO2017220930) SYSTEME ET METHODE DE REALISATION D'UN MASQUE OPTIQUE POUR MICRO-TEXTURATION DE SURFACE, INSTALLATION ET METHODE DE MICRO-TEXTURATION DE SURFACE

Pub. No.:    WO/2017/220930    International Application No.:    PCT/FR2017/051649
Publication Date: Fri Dec 29 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 22 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 1/00
G03F 1/68
G03F 7/20
Applicants: H.E.F.
UNIVERSITE JEAN MONNET SAINT ETIENNE
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
Inventors: BICHOTTE, Maxime
JOURLIN, Yves
DUBOST, Laurent
Title: SYSTEME ET METHODE DE REALISATION D'UN MASQUE OPTIQUE POUR MICRO-TEXTURATION DE SURFACE, INSTALLATION ET METHODE DE MICRO-TEXTURATION DE SURFACE
Abstract:
La présente invention concerne un système (2) de réalisation d'un masque optique (35) pour micro-texturation de surface, le système (2) comprenant : un substrat (10) comportant une surface (11) à texturer; une couche de matière (20) recouvrant la surface (11) du substrat (10) et comportant une surface externe (21)exposée à l'environnement extérieur;et un dispositif de génération et dépôt de gouttelettes (30) sur la surface externe(21) de la couche de matière (20),par condensation selon un agencement (31) particulier, formant le masque optique (35)sur la surface externe(21) de la couche de matière (20). L'invention concerne également une installation de traitement comprenant un tel système (2). L'invention concerne également une méthode de réalisation d'un masque et une méthode de micro-texturation de surface.