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1. (WO2017218299) TRANSDUCTEURS À ULTRASONS MICRO-USINÉS PIÉZOÉLECTRIQUES AYANT DES CARACTÉRISTIQUES DE SOULAGEMENT DES CONTRAINTES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/218299    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/036613
Date de publication : 21.12.2017 Date de dépôt international : 08.06.2017
CIB :
G10K 9/122 (2006.01), B06B 1/06 (2006.01)
Déposants : CHIRP MICROSYSTEMS, INC. [US/US]; 2070 Allston Way, Suite 300 Berkeley, California 94704-1484 (US)
Inventeurs : HORSLEY, David; (US).
GUEDES, Andre; (US).
SHELTON, Stefon; (US).
PRZYBYLA, Richard; (US)
Mandataire : ISENBERG, Joshua; (US)
Données relatives à la priorité :
62/351,876 17.06.2016 US
Titre (EN) PIEZOELECTRIC MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCERS HAVING STRESS RELIEF FEATURES
(FR) TRANSDUCTEURS À ULTRASONS MICRO-USINÉS PIÉZOÉLECTRIQUES AYANT DES CARACTÉRISTIQUES DE SOULAGEMENT DES CONTRAINTES
Abrégé : front page image
(EN)A piezoelectric micromachined ultrasound transducer (PMUT) is disclosed. The device consists of a flexible membrane that is connected to a rigid substrate via flexures. The flexures are defined by slots etched through the perimeter of the membrane. These features release the stress present on the structural layers of the membrane, making it less sensitive to residual stress. The flexures are designed to act as torsion springs so that the membrane's vibration mode shape is highly curved in the piezoelectric actuation area, thereby increasing the electromechanical coupling.
(FR)L'invention concerne un transducteur à ultrasons micro-usiné piézoélectrique (PMUT). Le dispositif se compose d'une membrane souple qui est reliée à un substrat rigide par l'intermédiaire d'éléments de flexion. Les éléments de flexion sont définis par des fentes gravées à travers le périmètre de la membrane. Ces caractéristiques soulagent les contraintes présentes sur les couches structurelles de la membrane, ce qui la rend moins sensible aux contraintes résiduelles. Les éléments de flexion sont conçus pour agir comme des ressorts de torsion, de sorte que la forme du mode de vibration de la membrane est fortement incurvée dans la zone d'actionnement piézoélectrique, accroissant ainsi le couplage électromécanique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)