WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2017217431) APPAREIL ET PROCÉDÉ D'EMPILAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/217431    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/021874
Date de publication : 21.12.2017 Date de dépôt international : 13.06.2017
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventeurs : MITSUISHI Hajime; (JP).
SUGAYA Isao; (JP).
FUKUDA Minoru; (JP)
Mandataire : RYUKA IP LAW FIRM; 22F, Shinjuku L Tower, 1-6-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 1631522 (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-120021 16.06.2016 JP
Titre (EN) STACKING APPARATUS AND STACKING METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ D'EMPILAGE
(JA) 積層装置および積層方法
Abrégé : front page image
(EN)A stacking apparatus according to the present invention is a stacking apparatus for stacking a first substrate and a second substrate and is provided with a plurality of holding members for holding the first substrate. The plurality of holding members correct a position shift of the first substrate relative to the second substrate with preset amounts of correction. The plurality of holding members include holding members having amounts of correction different from one another. The stacking apparatus may be further provided with a transportation part for transporting a holding member, which is selected from among the plurality of holding members and that holds the first substrate, from the position where that holding member is accommodated to the position where the first substrate is held.
(FR)La présente invention concerne un appareil d'empilage qui permet d'empiler des premier et second substrats et qui est pourvu d'une pluralité d'éléments de maintien servant à maintenir le premier substrat. La pluralité d'éléments de maintien corrigent un décalage de position du premier substrat par rapport au second substrat au moyen de degrés de correction prédéterminés. La pluralité d'éléments de maintien est composée d'éléments de maintien possédant des degrés de correction différents les uns des autres. L'appareil d'empilage peut en outre comprendre une partie transport servant à transporter un élément de maintien choisi parmi la pluralité d'éléments de maintien et qui maintient le premier substrat, depuis la position où ledit élément de maintien est logé vers la position où le premier substrat est maintenu.
(JA)積層装置であって、第1の基板と第2の基板とを積層する積層装置であって、第1の基板を保持する保持部材を複数備え、複数の保持部材は、第2の基板に対する第1の基板の位置ずれを、予め設定された補正量で補正し、複数の保持部材は、補正量が互いに異なる保持部材を含む。上記積層装置は、複数の保持部材から選択されて第1の基板を保持する保持部材を、当該保持部材が収容された位置から第1の基板を保持する位置まで搬送する搬送部を更に備えてもよい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)